(4) نشانو مواد. نشانو مواد ڪوٽنگ جي ڪنجي آهي, عام طور تي, جيستائين نشانو مواد گهرجن کي پورو ڪري ٿو, ۽ فلم پرت حاصل ڪرڻ لاءِ عمل جي پيرا ميٽرز جي سخت ڪنٽرول جي ضرورت ٿي سگھي ٿي. نشانو مواد ۽ مٿاڇري آڪسائيڊ ۽ ٻيا ناپاڪ مادا ۾ نجاست فلم جي آلودگي جو هڪ اهم ذريعو آهن, تنهن ڪري هڪ اعلي پاڪائي واري پرت حاصل ڪرڻ لاءِ, اعلي پاڪائي واري ٽارگيٽ مواد جي استعمال کان علاوه, هر اسپٽرنگ ۾ ٽارگيٽ جي مٿاڇري کي صاف ڪرڻ لاءِ پري اسپٽرنگ جو پهريون نشانو هجڻ گهرجي, آڪسائيڊ پرت جي نشانو مٿاڇري کي هٽائڻ لاءِ.
(5) پس منظر ويڪيوم. پس منظر ويڪيوم جي سطح سڌو سنئون سسٽم ۾ باقي گئس جي مقدار کي ظاهر ڪري ٿي، ۽ باقي گئس پڻ فلم پرت جي آلودگي جو هڪ اهم ذريعو آهي، تنهنڪري پس منظر ويڪيوم کي ممڪن حد تائين بهتر بڻايو وڃي. هڪ ٻي مسئلي جي آلودگي تي تيل جي پکيڙ پمپ کي تيل ڏانهن واپس آڻڻ آهي، جنهن جي نتيجي ۾ جھلي ۾ ڪاربان ڊوپنگ ٿيندي آهي، جھلي جي وڌيڪ سخت گهرجن کي مناسب اپاءَ وٺڻ گهرجن يا تيل کان پاڪ هاءِ ويڪيوم پمپنگ سسٽم جو استعمال ڪرڻ گهرجي.
(6) ڦڦڙ هوا جو دٻاءُ. ڪم ڪندڙ هوا جو دٻاءُ سڌو سنئون جھلي جي جمع ٿيڻ جي شرح کي متاثر ڪري ٿو.
ان کان علاوه، برقي ميدان، ماحول، ٽارگيٽ مواد، سبسٽريٽ جي درجه حرارت ۽ جاميٽري structureانچي ۾ مختلف اسپٽرنگ ڊوائيسز جي ڪري جھلي جي وچ ۾ رابطي جي ضرورتن کي پيدا ڪرڻ لاءِ، عمل جي پيرا ميٽرز تي تجربا ڪرڻ ضروري آهي، جن مان بهترين عمل جون حالتون.
- هي مضمون شايع ٿيل آهيويڪيوم ڪوٽنگ مشين ٺاهيندڙگوانگڊونگ زينوا
پوسٽ جو وقت: جنوري-05-2024