(4) Материал мишени. Материал мишени является ключом к распыляемому покрытию, в общем, пока материал мишени соответствует требованиям, и может потребоваться строгий контроль параметров процесса для получения слоя пленки. Примеси в материале мишени и поверхностные оксиды и другие нечистые вещества являются важным источником загрязнения пленки, поэтому для получения слоя высокой чистоты, в дополнение к использованию материала мишени высокой чистоты, при каждом распылении должна быть первая мишень для предварительного распыления, чтобы очистить поверхность мишени, удалить с поверхности мишени слой оксида.
(5) Фоновый вакуум. Уровень фонового вакуума напрямую отражает количество остаточного газа в системе, а остаточный газ также является важным источником загрязнения слоя пленки, поэтому фоновый вакуум должен быть улучшен настолько, насколько это возможно. Что касается загрязнения, то еще одной проблемой является диффузионный насос масла обратно в масло, что приводит к легированию углерода в мембране, более строгие требования к мембране должны принимать соответствующие меры или использовать безмасляную высоковакуумную систему откачки.
(6) давление распыляющего воздуха. Рабочее давление воздуха напрямую влияет на скорость осаждения мембраны.
Кроме того, из-за различных распылительных устройств в электрическом поле, атмосфере, материале мишени, температуре подложки и геометрической структуре параметров взаимодействия между мембранами для создания требований необходимо проводить эксперименты по параметрам процесса, из которых получаются наилучшие условия процесса.
–Эта статья опубликованапроизводитель вакуумных напылительных машинГуандун Чжэньхуа
Время публикации: 05.01.2024