1) Цилиндрические мишени имеют более высокий коэффициент использования, чем плоские мишени. В процессе покрытия, будь то вращающийся магнитный тип или вращающийся трубчатый цилиндрический распылительный тип мишени, все части поверхности трубки мишени непрерывно проходят через область распыления, созданную перед постоянным магнитом, чтобы получить катодное распыление, и мишень может быть равномерно распылена и протравлена, а коэффициент использования мишени высок. Коэффициент использования материалов мишени составляет около 80% ~ 90%.
2) Цилиндрические мишени нелегко поддаются «отравлению мишени». В процессе нанесения покрытия поверхность целевой трубки всегда распыляется и травится ионами, и на поверхности нелегко накапливать толстые оксиды и другие изолирующие пленки, и нелегко поддаются «отравлению мишени».
3) Конструкция цилиндрической распылительной мишени трубчатого типа с вращающейся мишенью проста и удобна в установке.
4) Материал цилиндрической трубки мишени имеет различные типы. плоская мишень с металлической мишенью с прямым водяным охлаждением, и некоторые не могут быть обработаны и сформированы цилиндрические мишени, такие как мишень In2-SnO2 и т. д. с порошковым материалом для горячего изостатического прессования для получения пластинчатых мишеней, потому что размер не может быть сделан большим, и хрупким, поэтому необходимо использовать метод пайки и медную заднюю пластину для интеграции и затем установки на основание мишени. В дополнение к металлическим трубам, столбчатые мишени также могут быть распылены на поверхность труб из нержавеющей стали с различными материалами, которые необходимо покрыть, такими как Si, Cr и т. д.
В настоящее время доля цилиндрических мишеней для нанесения покрытий в промышленном производстве увеличивается. Цилиндрические мишени используются не только для вертикальной машины для нанесения покрытий, но и для рулонной машины для нанесения покрытий. В последние годы плоские двойные мишени постепенно заменяются цилиндрическими двойными мишенями.
——Эта статья была опубликована компанией Guangdong Zhenhua Technology,производитель оптических покрывающих машин.
Время публикации: 11 мая 2023 г.