(4) Materialul țintă. Materialul țintă este esențial pentru acoperirea prin pulverizare. În general, atâta timp cât materialul țintă îndeplinește cerințele, poate fi necesar un control strict al parametrilor procesului pentru a obține stratul de film. Impuritățile din materialul țintă, oxizii de suprafață și alte substanțe impure reprezintă o sursă importantă de contaminare a filmului. Prin urmare, pentru a obține un strat de înaltă puritate, pe lângă utilizarea materialului țintă de înaltă puritate, la fiecare pulverizare, prima țintă trebuie pre-pulverizată pentru a curăța suprafața țintei și a îndepărta stratul de oxid de pe suprafața țintei.
(5) Vid de fond. Nivelul vidului de fond reflectă direct cantitatea de gaz rezidual din sistem, iar gazul rezidual este, de asemenea, o sursă importantă de contaminare a stratului de film, așa că vidul de fond ar trebui îmbunătățit pe cât posibil. O altă problemă legată de poluare este difuzia uleiului înapoi în sistem, ceea ce duce la doparea cu carbon a membranei. Pentru cerințe mai stricte privind membrana, ar trebui luate măsuri adecvate sau ar trebui utilizat un sistem de pompare cu vid înalt fără ulei.
(6) presiunea aerului de pulverizare. Presiunea aerului de lucru afectează direct rata de depunere a membranei.
În plus, datorită diferitelor dispozitive de pulverizare în câmpul electric, atmosferă, materialul țintă, temperatura substratului și structura geometrică a parametrilor de interacțiune dintre membrană pentru a produce cerințele, este necesar să se efectueze experimente asupra parametrilor procesului, din care se obțin cele mai bune condiții de proces.
–Acest articol este publicat deproducător de mașini de acoperire în vidGuangdong Zhenhua
Data publicării: 05 ian. 2024