1) Țintele cilindrice au o rată de utilizare mai mare decât țintele plane. În procesul de acoperire, indiferent dacă este vorba de o țintă de pulverizare cilindrică de tip magnet rotativ sau de o țintă de tip tub rotativ, toate părțile suprafeței tubului țintă trec continuu prin zona de pulverizare generată în fața magnetului permanent pentru a primi pulverizarea catodică, iar ținta poate fi gravată uniform prin pulverizare, iar rata de utilizare a țintei este ridicată. Rata de utilizare a materialelor țintă este de aproximativ 80%~90%.
2) Țintele cilindrice nu vor produce ușor „otrăvire cu ținta”. În timpul procesului de acoperire, suprafața tubului țintă este mereu pulverizată și gravată de ioni, și nu este ușor să se acumuleze oxizi groși și alte pelicule izolatoare pe suprafață și nu este ușor să se producă „otrăvire cu ținta”.
3) Structura țintei cilindrice de pulverizare cu tub rotativ este simplă și ușor de instalat.
4) Materialul tubului țintă cilindric este de diferite tipuri. Ținta plană este răcită direct cu apă, iar unele ținte cilindrice nu pot fi prelucrate și formate, cum ar fi ținta In2-SnO2 etc., cu material pulverulent pentru presare izostatică la cald pentru a obține ținte de tip placă, deoarece dimensiunea nu poate fi mărită și fragilă, deci este necesară utilizarea metodei de lipire și a unei plăci de cupru pentru a integra și apoi instala pe baza țintei. Pe lângă țevile metalice, țintele columnare pot fi, de asemenea, pulverizate pe suprafața țevilor din oțel inoxidabil cu diverse materiale care trebuie acoperite, cum ar fi Si, Cr etc.
În prezent, proporția țintelor cilindrice pentru acoperire în producția industrială este în creștere. Țintele cilindrice nu sunt utilizate doar pentru mașina de acoperire verticală, ci și în mașina de acoperire roll-to-roll. În ultimii ani, țintele plane gemene sunt înlocuite treptat de țintele gemene cilindrice.
——Acest articol a fost publicat de Guangdong Zhenhua Technology, o companieproducător de mașini de acoperire optică.
Data publicării: 11 mai 2023