1) Alvos cilíndricos apresentam maior taxa de utilização do que alvos planos. No processo de revestimento, seja um alvo de pulverização catódica cilíndrica do tipo magnético rotativo ou um alvo de pulverização catódica do tipo tubo rotativo, todas as partes da superfície do tubo alvo passam continuamente pela área de pulverização catódica gerada na frente do ímã permanente, recebendo a pulverização catódica. O alvo pode ser gravado por pulverização catódica uniforme, com alta taxa de utilização do alvo. A taxa de utilização dos materiais alvo é de cerca de 80% a 90%.
2) Alvos cilíndricos não são propensos a produzir "envenenamento do alvo". Durante o processo de revestimento, a superfície do tubo alvo é constantemente pulverizada e corroída por íons, dificultando o acúmulo de óxidos espessos e outras películas isolantes na superfície, o que dificulta o desenvolvimento de "envenenamento do alvo".
3) A estrutura do tubo alvo rotativo do tipo alvo de pulverização cilíndrica é simples e fácil de instalar.
4) O material do tubo alvo cilíndrico possui vários tipos. Alvos planos com alvos metálicos são resfriados diretamente com água, e alguns não podem ser processados e moldados em alvos cilíndricos, como alvos de In2-SnO2, etc., com material em pó para prensagem isostática a quente para obter alvos em forma de placa, pois o tamanho não pode ser grande e é quebradiço, sendo necessário o uso do método de brasagem e placa de cobre para integrar e, em seguida, instalar na base do alvo. Além de tubos metálicos, alvos colunares também podem ser pulverizados na superfície de tubos de aço inoxidável com diversos materiais que precisam ser revestidos, como Si, Cr, etc.
Atualmente, a proporção de alvos cilíndricos para revestimento na produção industrial está aumentando. Os alvos cilíndricos não são usados apenas em máquinas de revestimento verticais, mas também em máquinas de revestimento rolo a rolo. Nos últimos anos, os alvos duplos planos têm sido gradualmente substituídos pelos alvos duplos cilíndricos.
——Este artigo foi publicado pela Guangdong Zhenhua Technology, umafabricante de máquinas de revestimento óptico.
Data de publicação: 11 de maio de 2023