(۴) د هدف مواد. د هدف مواد د سپټرینګ کوټینګ کلیدي ده, په عمومي توګه, تر هغه چې د هدف مواد اړتیاوې پوره کړي, او د فلم پرت ترلاسه کولو لپاره د پروسې پیرامیټرو سخت کنټرول ته اړتیا کیدی شي. په هدف موادو او سطحي آکسایډونو او نورو ناپاکو موادو کې ناپاکۍ د فلم ککړتیا یوه مهمه سرچینه ده, نو د لوړ پاکوالي پرت ترلاسه کولو لپاره, د لوړ پاکوالي هدف موادو کارولو سربیره, په هر سپټرینګ کې باید د هدف سطح پاکولو لپاره د پری سپټرینګ لپاره لومړی هدف وي, د آکسایډ پرت د هدف سطح لرې کولو لپاره.
(۵) د شاليد خلا. د شاليد خلا کچه په مستقیم ډول په سیسټم کې د پاتې ګازو مقدار منعکس کوي، او پاتې ګاز هم د فلم طبقې د ککړتیا یوه مهمه سرچینه ده، نو د شاليد خلا باید د امکان تر حده ښه شي. د ککړتیا په اړه بله ستونزه د تیلو د خپریدو پمپ بیرته تیلو ته دی، چې په پایله کې په غشا کې د کاربن ډوپینګ رامینځته کیږي، د غشا ډیر سخت اړتیاوې باید مناسب اقدامات وکړي یا د تیلو څخه پاک لوړ ویکیوم پمپ کولو سیسټم وکاروي.
(۶) د هوا فشار تویول. د هوا کاري فشار په مستقیم ډول د غشا د جمع کولو کچه اغیزه کوي.
برسېره پردې، د بریښنایی ساحې، اتموسفیر، هدف موادو، سبسټریټ تودوخې او جیومیټریک جوړښت کې د مختلفو سپټرینګ وسیلو له امله د اړتیاو د تولید لپاره د غشا ترمنځ د تعامل پیرامیټرونه، دا اړینه ده چې د پروسې پیرامیټرو باندې تجربې ترسره شي، له کوم څخه چې غوره پروسه شرایط.
- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ ماشین جوړونکیګوانګډونګ ژینوا
د پوسټ وخت: جنوري-۰۵-۲۰۲۴