(4) Materiał docelowy. Materiał docelowy jest kluczem do rozpylania powłoki, ogólnie rzecz biorąc, o ile materiał docelowy spełnia wymagania, a ścisła kontrola parametrów procesu może być wymagana w celu uzyskania warstwy filmu. Zanieczyszczenia w materiale docelowym oraz tlenki powierzchniowe i inne zanieczyszczone substancje są ważnym źródłem zanieczyszczenia filmu, więc w celu uzyskania warstwy o wysokiej czystości, oprócz użycia materiału docelowego o wysokiej czystości, w każdym rozpylaniu powinien być pierwszym celem do wstępnego rozpylania w celu oczyszczenia powierzchni celu, aby usunąć powierzchnię docelową warstwy tlenku.
(5) Próżnia tła. Poziom próżni tła bezpośrednio odzwierciedla ilość gazu resztkowego w układzie, a gaz resztkowy jest również ważnym źródłem zanieczyszczenia warstwy filmu, więc próżnia tła powinna być poprawiona tak bardzo, jak to możliwe. W przypadku zanieczyszczenia innym problemem jest pompa dyfuzyjna oleju z powrotem do oleju, co powoduje domieszkowanie węgla w membranie, bardziej rygorystyczne wymagania membrany powinny podjąć odpowiednie środki lub zastosować bezolejowy system pompowania o wysokiej próżni.
(6) ciśnienie powietrza rozpylającego. Ciśnienie powietrza roboczego ma bezpośredni wpływ na szybkość osadzania membrany.
Ponadto, ze względu na różne urządzenia rozpylające, różne pola elektryczne, atmosferę, materiał docelowy, temperaturę podłoża i strukturę geometryczną parametrów interakcji między membraną a wymaganiami, konieczne jest przeprowadzenie eksperymentów dotyczących parametrów procesu, z których można uzyskać najlepsze warunki procesu.
– Artykuł ten został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania próżniowegoGuangdong Zhenhua
Czas publikacji: 05-01-2024