1) Cele cylindryczne mają wyższy wskaźnik wykorzystania niż cele płaskie. W procesie powlekania, niezależnie od tego, czy jest to obrotowy typ magnetyczny, czy obrotowy typ rurowy cylindryczny cel rozpylania, wszystkie części powierzchni rury docelowej ciągle przechodzą przez obszar rozpylania generowany przed magnesem trwałym, aby otrzymać rozpylanie katodowe, a cel może być równomiernie rozpylany i trawiony, a wskaźnik wykorzystania celu jest wysoki. Wskaźnik wykorzystania materiałów docelowych wynosi około 80%~90%.
2) W przypadku celów cylindrycznych nie jest łatwo wywołać „zatrucie celu”. Podczas procesu powlekania powierzchnia rury docelowej jest zawsze rozpylana i trawiona jonami, a gromadzenie się grubych tlenków i innych izolujących warstw na powierzchni nie jest łatwe, a także nie jest łatwo wywołać „zatrucie celu”.
3) Konstrukcja cylindrycznej tarczy rozpylającej z obrotową rurką jest prosta i łatwa w montażu.
4) Materiał cylindrycznej rury docelowej ma różne typy. Planarny cel z metalowym celem, bezpośrednie chłodzenie wodne, a niektóre nie mogą być przetwarzane i formowane jako cylindryczne cele, takie jak cel In2-SnO2 itp. z materiałem proszkowym do prasowania izostatycznego na gorąco w celu uzyskania celów w kształcie płyty, ponieważ rozmiar nie może być duży i kruchy, dlatego konieczne jest użycie metody lutowania i miedzianej płyty tylnej w celu zintegrowania, a następnie zainstalowania na podstawie docelowej. Oprócz rur metalowych, cele kolumnowe można również natryskiwać na powierzchnię rur ze stali nierdzewnej różnymi materiałami, które muszą być powlekane, takimi jak Si, Cr itp.
Obecnie udział cylindrycznych tarcz do powlekania w produkcji przemysłowej wzrasta. Cylindryczne tarcze są używane nie tylko w pionowej maszynie do powlekania, ale także w maszynie do powlekania typu roll to roll. W ostatnich latach płaskie tarcze bliźniacze są stopniowo zastępowane przez cylindryczne tarcze bliźniacze.
——Artykuł ten został opublikowany przez Guangdong Zhenhua Technology,producent maszyn do powlekania optycznego.
Czas publikacji: 11-05-2023