1) Sylindriske mål har høyere utnyttelsesgrad enn plane mål. I belegningsprosessen, enten det er et roterende magnetisk eller et roterende rørformet sylindrisk sputteringsmål, passerer alle deler av overflaten på målrøret kontinuerlig gjennom sputteringsområdet som genereres foran permanentmagneten for å motta katodesputtering, og målet kan sputteres jevnt, og målets utnyttelsesgrad er høy. Utnyttelsesgraden for målmaterialene er omtrent 80 % ~ 90 %.
2) Sylindriske mål vil ikke lett forårsake «målforgiftning». Under belegningsprosessen blir overflaten på målrøret alltid forstøvet og etset av ioner, og det er ikke lett å samle tykke oksider og andre isolerende filmer på overflaten, og det er ikke lett å forårsake «målforgiftning».
3) Strukturen til det sylindriske sputtermålet av roterende målrørstype er enkel og lett å installere.
4) Det finnes forskjellige typer sylindriske målrørmaterialer. Plane mål med metallmål direkte vannkjølt, og noen kan ikke bearbeides og formes med sylindriske mål, for eksempel In2-SnO2-mål, osv. med pulvermateriale for varm isostatisk pressing for å oppnå platelignende mål. På grunn av størrelsen som ikke kan gjøres stor, er det sprøtt, så det er nødvendig å bruke loddemetoden og kobberbakplaten for å integrere og deretter installere på målbasen. I tillegg til metallrør kan søyleformede mål også sprøytes på overflaten av rustfritt stålrør med forskjellige materialer som må belegges, for eksempel Si, Cr, osv.
For tiden øker andelen sylindriske mål for belegg i industriell produksjon. Sylindriske mål brukes ikke bare i vertikale beleggsmaskiner, men også i rull-til-rull-beleggsmaskiner. I de senere år har plane tvillingmål gradvis blitt erstattet av sylindriske tvillingmål.
——Denne artikkelen ble publisert av Guangdong Zhenhua Technology, enprodusent av optiske beleggmaskiner.
Publisert: 11. mai 2023