1) Cilindrische targets hebben een hogere benuttingsgraad dan vlakke targets. Tijdens het coatingproces, of het nu gaat om een roterende magnetische sputtertarget of een cilindrische sputtertarget met roterende buis, passeren alle delen van het oppervlak van de targetbuis continu het sputtergebied dat vóór de permanente magneet wordt gegenereerd om kathodesputtering te ontvangen. Hierdoor kan de target gelijkmatig worden gesputterd en geëtst, en is de benuttingsgraad van de target hoog. De benuttingsgraad van de targetmaterialen ligt tussen de 80% en 90%.
2) Cilindrische targets zullen niet gemakkelijk "doelwitvergiftiging" veroorzaken. Tijdens het coatingproces wordt het oppervlak van de targetbuis altijd gesputterd en geëtst door ionen, waardoor het moeilijk is om dikke oxiden en andere isolerende films op het oppervlak te accumuleren en "doelwitvergiftiging" te veroorzaken.
3) De structuur van het cilindrische sputterdoel van het type roterende doelwitbuis is eenvoudig en gemakkelijk te installeren.
4) Er zijn verschillende soorten cilindrische targetbuismaterialen. Vlakke targets met metalen targets met directe waterkoeling, en sommige kunnen niet worden bewerkt en gevormd tot cilindrische targets, zoals In2-SnO2 targets, enz. Met poedermateriaal voor heet isostatisch persen om plaatvormige targets te verkrijgen, omdat de afmetingen niet groot en broos kunnen zijn. Daarom is het noodzakelijk om een soldeermethode en een koperen achterplaat te gebruiken om de targetbasis te integreren en vervolgens te installeren. Naast metalen buizen kunnen zuilvormige targets ook op het oppervlak van roestvrijstalen buizen worden gespoten met diverse materialen die moeten worden gecoat, zoals Si, Cr, enz.
Momenteel neemt het aandeel cilindrische targets voor coating in de industriële productie toe. Cilindrische targets worden niet alleen gebruikt voor verticale coatingmachines, maar ook voor wals-naar-wals coatingmachines. De laatste jaren worden de vlakke twin targets geleidelijk vervangen door cilindrische twin targets.
——Dit artikel is gepubliceerd door Guangdong Zhenhua Technology, eenfabrikant van optische coatingmachines.
Geplaatst op: 11 mei 2023