အမြှေးပါးအလွှာ၏စက်ပိုင်းဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိများသည် adhesion, stress, aggregation density စသည်တို့ကြောင့် ထိခိုက်ပါသည်။ အမြှေးပါးအလွှာပစ္စည်းနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်ဆိုင်ရာအချက်များကြားမှ ဆက်နွယ်မှုအရ၊ အမြှေးပါးအလွှာ၏ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ခိုင်ခံ့မှုကို မြှင့်တင်လိုပါက အောက်ပါလုပ်ငန်းစဉ်ဘောင်များကို အာရုံစိုက်သင့်သည်-
(၁) လေဟာနယ်အဆင့်။ ရုပ်ရှင်၏ စွမ်းဆောင်ရည်အပေါ် လစ်ဟာမှုမှာ အလွန်ထင်ရှားသည်။ ဖလင်အလွှာ၏ စွမ်းဆောင်ရည် ညွှန်ကိန်းအများစုသည် လေဟာနယ်အဆင့်ပေါ်တွင် အလွန်မူတည်ပါသည်။ အများအားဖြင့်၊ လေဟာနယ် ဒီဂရီ တိုးလာသည်နှင့်အမျှ ရုပ်ရှင် စုစည်းမှု သိပ်သည်းဆ တိုးလာကာ ခိုင်မာမှု တိုးလာကာ ဖလင်ဖွဲ့စည်းပုံ ပိုမိုကောင်းမွန်လာကာ ဓာတုဖွဲ့စည်းမှု သန့်စင်လာသော်လည်း တစ်ချိန်တည်းမှာပင် စိတ်ဖိစီးမှုလည်း တိုးလာပါသည်။
(၂) ဖြစ်ထွန်းနှုန်း။ အငွေ့ပျံမှုနှုန်းကို မြှင့်တင်ပေးရုံသာမက evaporation source temperature ချဉ်းကပ်မှုကို တိုးမြှင့်ရန်၊ evaporation source area ချဉ်းကပ်မှုကို တိုးမြင့်ရန်အတွက်လည်း သုံးနိုင်သည်၊ သို့သော် ချဉ်းကပ်မှု၏ အပူချိန်ကို တိုးရန်အတွက် ရေငွေ့ပျံမှုအရင်းအမြစ်ကို အသုံးပြုခြင်းသည် ၎င်း၏အားနည်းချက်များရှိသည်- အမြှေးပါးလွှာကို ဖိစီးမှုအား ကြီးမားစေခြင်း၊ ဖလင်ပုံသဏ္ဍာန်ဓာတ်ငွေ့သည် ပြိုကွဲလွယ်သည်။ ဒါကြောင့် တခါတရံမှာ evaporation source area ကို တိုးမြှင့်ဖို့ထက် evaporation source temperature ကို မြှင့်တင်တာက ပိုအဆင်ပြေပါတယ်။
(၃) အလွှာအပူချိန်။ အလွှာ၏အပူချိန်ကိုတိုးမြှင့်ခြင်းသည် ကျန်ရှိသောဓာတ်ငွေ့မော်လီကျူးများ၏အလွှာမျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ စုပ်ယူမှုကို အထောက်အကူဖြစ်စေရန်၊ စုပ်ယူထားသော မော်လီကျူးများကြားရှိ ပေါင်းစပ်အင်အားကို တိုးမြင့်စေသည်- တစ်ချိန်တည်းမှာပင် အမြှေးပါးအလွှာဖွဲ့စည်းပုံသည် ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာစုပ်ယူမှုသို့ ဓာတုစုပ်ယူမှုအဖြစ်သို့ ပြောင်းလဲခြင်းကို မြှင့်တင်ပေးမည်ဖြစ်ပြီး မော်လီကျူးများကြား အပြန်အလှန်အကျိုးသက်ရောက်မှုကို မြှင့်တင်ပေးသည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ Mg၊ အမြှေးပါး၊ အလွှာအပူပေးခြင်းသည် 250 ~ 300 ℃မှ အတွင်းစိတ်ဖိစီးမှုကို လျှော့ချနိုင်သည်၊ စုစည်းမှုသိပ်သည်းဆကို တိုးတက်စေပြီး အမြှေးပါးအလွှာ၏ မာကျောမှုကို တိုးစေသည်- အလွှာကို အပူပေးခြင်း 120 ~ 150 ℃ မှ Zr03-Si02 သို့ ပြင်ဆင်ထားသည့် အလွှာပေါင်းစုံ၊ အမြှေးပါး၊ ၎င်း၏စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ခွန်အားကို တိုးမြင့်စေသော်လည်း အလွှာ၏ အပူချိန်သည် အလွန်မြင့်မားသည်။
(၄) အိုင်းယွန်း ဗုံးကြဲခြင်း။ အိုင်းယွန်းဗုံးကြဲခြင်းသည် လွန်စွာ ပေါင်းစည်းထားသော မျက်နှာပြင်များ၊ မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းမှု၊ ဓာတ်တိုးမှုနှင့် စုစည်းသိပ်သည်းမှုတို့အပေါ် သက်ရောက်မှုရှိသည်။ အပေါ်ယံမလိမ်းမီ ဗုံးကြဲခြင်းသည် မျက်နှာပြင်ကို သန့်ရှင်းစေပြီး ကပ်ငြိမှုကို တိုးစေသည်။ coating ပြီးနောက် ဗုံးကြဲခြင်းသည် ဖလင်အလွှာ စုစည်းမှု သိပ်သည်းဆ စသည်တို့ကို တိုးတက်စေပြီး စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ခွန်အားနှင့် မာကျောမှုကို တိုးစေသည်။
(၅) အလွှာကို သန့်ရှင်းရေးလုပ်ပါ။ ဆပ်ပြာသန့်ရှင်းရေးနည်းလမ်းသည် မသင့်လျော်ပါ သို့မဟုတ် မသန့်ရှင်းပါက၊ အလွှာအတွင်းကျန်ရှိသော အညစ်အကြေးများ သို့မဟုတ် သန့်စင်သောအေးဂျင့်တွင် ညစ်ညမ်းမှုအသစ်များဖြစ်ပေါ်စေပြီး ကွဲပြားသော cohesion နှင့် adhesion ၏ coating တွင်ဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံဂုဏ်သတ္တိများနှင့် optical thickness ၏ပထမအလွှာကိုထိခိုက်စေသည်သာမက၊ ဖလင်အလွှာသည် substrate မှထွက်လာရန်လွယ်ကူစေသည်၊ ထို့ကြောင့်ဖလင်အလွှာ၏ဝိသေသလက္ခဏာများကိုပြောင်းလဲစေသည်။
- ဤဆောင်းပါးကိုထုတ်ဝေသည်။ဖုန်စုပ်စက်အလွှာထုတ်လုပ်သူGuangdong Zhenhua
စာတိုက်အချိန်- မေ-၀၄-၂၀၂၄