Мембрана катламының механик үзлекләренә адгезия, көчәнеш, агрегация тыгызлыгы һ.б. тәэсир итә. Мембрана катламы материалы һәм процесс факторлары арасындагы бәйләнештән күренгәнчә, әгәр без мембрана катламының механик ныклыгын яхшыртырга телибез икән, без түбәндәге процесс параметрларына игътибар итәргә тиеш:
(1) вакуум дәрәҗәсе. Вакуумның пленканың эшчәнлегенә йогынтысы бик ачык күренә. Пленка катламының эшчәнлек күрсәткечләренең күбесе вакуум дәрәҗәсенә бик бәйле. Гадәттә, вакуум дәрәҗәсе арткан саен, пленка агрегациясе тыгызлыгы арта, катылыгы арта, пленка структурасы яхшыра, химик состав чиста була, ләкин шул ук вакытта көчәнеш тә арта.
(2) Чүпләү тизлеге. Чүпләү тизлеген яхшырту парга әйләнү тизлеген яхшырту өчен генә түгел, ә парга әйләнү чыганагы температурасын арттыру өчен дә кулланылырга мөмкин, шулай ук парга әйләнү чыганагы мәйданын арттыру ысулын да кулланып була, бу ысулның температурасын арттыру өчен парга әйләнү чыганагын куллануның үз кимчелекләре бар: мембрана катламындагы көчәнеш бик зур була; пленка формалаштыручы газ җиңел таркала. Шуңа күрә кайвакыт парга әйләнү чыганагы мәйданын арттыру парга әйләнү чыганагы температурасын яхшыртуга караганда отышлырак.
(3) Субстрат температурасы. Субстрат температурасын күтәрү калган газ молекулаларының субстрат өслегендә адсорбцияләнүенә ярдәм итә, субстратны һәм урнаштырылган молекулалар арасындагы бәйләнеш көчен арттыра: шул ук вакытта физик адсорбциянең химик адсорбциягә әйләнүен стимуллаштыра, молекулалар арасындагы үзара бәйләнешне көчәйтә, шуның белән мембрана катламы структурасы тыгыз була. Мәсәлән, Mg, мембрана, субстратны 250 ~ 300 ℃ кадәр җылыту эчке киеренкелекне киметә, агрегация тыгызлыгын яхшырта, мембрана катламының катылыгын арттыра: субстратны 120 ~ 150 ℃ кадәр җылыту Zr03-Si02 әзерләнә, күп катламлы мембрана, аның механик ныклыгы күпкә арта, ләкин субстрат температурасы артык югары булса, мембрана катламы бозыла.
(4) Ион бомбардированиесе. Ион бомбардированиесе югары тыгызлыктагы өслекләр формалашуына, өслекнең тигезсезлегенә, оксидлашуына һәм агрегация тыгызлыгына йогынты ясый. Каплау алдыннан бомбардирование өслекне чистартырга һәм ябышуны арттырырга мөмкин; каплаудан соң бомбардирование пленка катламының агрегация тыгызлыгын һ.б. яхшыртырга мөмкин, шуның белән механик ныклыкны һәм катылыкны арттыра.
(5) Субстратны чистарту. Субстратны чистарту ысулы яраклы түгел яки чиста түгел, субстратта калдык пычрак яки чистарту матдәсе була, аннары яңа пычранулар барлыкка килә, каплауда төрле бәйләнеш һәм адгезия шартлары була, бу беренче катламның структура үзенчәлекләренә һәм оптик калынлыгына тәэсир итә, ләкин пленка катламының субстраттан җиңел аерылуына китерә, шуның белән пленка катламының үзенчәлекләре үзгәрә.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа
Бастырылган вакыты: 2024 елның 4 мае