Ба хосиятҳои механикии қабати мембрана часпиш, фишор, зичии агрегатсия ва ғайра таъсир мерасонанд. Аз робитаи байни маводи қабати мембрана ва омилҳои раванд, дида мешавад, ки агар мо хоҳем, ки мустаҳкамии механикии қабати мембранаро беҳтар кунем, мо бояд ба параметрҳои зерини раванд диққат диҳем:
(1) сатҳи вакуум. Вакуум ба самаранокии плёнка хеле возеҳ аст. Аксари нишондиҳандаҳои самаранокии қабати плёнка аз сатҳи вакуум вобастаанд. Одатан, бо афзоиши дараҷаи вакуум, зичии агрегатсияи плёнка меафзояд, сахтӣ меафзояд, сохтори плёнка беҳтар мешавад, таркиби химиявӣ тоза мешавад, аммо дар айни замон фишор низ меафзояд.
(2) Суръати таҳшиншавӣ. Беҳтар кардани суръати таҳшиншавӣ на танҳо барои беҳтар кардани суръати бухоршавӣ, балки барои баланд бардоштани ҳарорати манбаи бухоршавӣ низ истифода мешавад, балки истифодаи манбаи бухоршавӣ барои баланд бардоштани ҳарорати усул камбудиҳои худро дорад: фишори қабати мембранаро хеле зиёд мекунад; гази ташаккулёбандаи плёнка ба осонӣ таҷзия мешавад. Аз ин рӯ, баъзан зиёд кардани майдони манбаи бухоршавӣ нисбат ба беҳтар кардани ҳарорати манбаи бухоршавӣ мусоидтар аст.
(3) Ҳарорати субстрат. Баланд бардоштани ҳарорати субстрат ба адсорбсияи молекулаҳои боқимондаи газ дар сатҳи субстрат мусоидат мекунад, ки онро истисно мекунад ва қувваи пайвастшавии субстрат ва молекулаҳои гузошташударо зиёд мекунад: дар айни замон табдили адсорбсияи физикиро ба адсорбсияи кимиёвӣ мусоидат мекунад ва таъсири мутақобилаи молекулаҳоро беҳтар мекунад, то сохтори қабати мембрана сахт бошад. Масалан, Mg, гарм кардани мембрана то 250 ~ 300 ℃ метавонад фишори дохилиро кам кунад, зичии агрегатсияро беҳтар созад ва сахтии қабати мембранаро зиёд кунад: гарм кардани субстрат то 120 ~ 150 ℃ Zr03-Si02, мембранаи бисёрқабата омода карда мешавад, қувваи механикии он хеле зиёд мешавад, аммо ҳарорати аз ҳад зиёд баланд шудани субстрат боиси вайрон шудани қабати мембрана мегардад.
(4) Бомбгузории ионӣ. Бомбгузории ионӣ ба ташаккули сатҳҳои хеле часпанда, ноҳамвории сатҳ, оксидшавӣ ва зичии агрегатсия таъсир мерасонад. Бомбгузории пеш аз пӯшиш метавонад сатҳро тоза кунад ва часпакро афзоиш диҳад; бомбгузории пас аз пӯшиш метавонад зичии агрегатсияи қабати плёнка ва ғайраро беҳтар кунад ва бо ин васила қувват ва сахтии механикиро афзоиш диҳад.
(5) Тозакунии зеризаминӣ. Усули тозакунии зеризаминӣ мувофиқ нест ё тоза нест, зеро дар зеризаминӣ ифлосӣ ё агенти тозакунанда боқӣ мемонад ва боиси ифлосшавии нав мегардад. Дар пӯшиш шароити гуногуни мутобиқшавӣ ва часпиш ба қабати аввал таъсир мерасонад, ки ба хосиятҳои сохторӣ ва ғафсии оптикии қабати аввал таъсир мерасонад, аммо инчунин ҷудошавии қабати плёнкаро аз зеризаминӣ осон мекунад ва бо ин васила хусусиятҳои қабати плёнкаро тағйир медиҳад.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 04 майи соли 2024