Kapangidwe ka makina a nembanemba kamakhudzidwa ndi kumatira, kupsinjika, kuchulukana kwa kusonkhana, ndi zina zotero. Kuchokera ku ubale pakati pa zinthu za nembanemba ndi zinthu zomwe zimachitika, zitha kuwoneka kuti ngati tikufuna kukonza mphamvu ya makina a nembanemba, tiyenera kuyang'ana kwambiri magawo otsatirawa a njira:
(1) mulingo wa vacuum. Vacuum pa momwe filimu imagwirira ntchito ndi yodziwikiratu. Zizindikiro zambiri za magwiridwe antchito a filimuyi zimadalira kwambiri mulingo wa vacuum. Nthawi zambiri, pamene vacuum ikukwera, kuchuluka kwa kusonkhana kwa filimu kumawonjezeka, kulimba kumawonjezeka, kapangidwe ka filimu kamakula, kapangidwe ka mankhwala kamakhala koyera, koma nthawi yomweyo kupsinjika kumawonjezekanso.
(2) Chiŵerengero cha kutayika kwa mpweya. Kukweza kuchuluka kwa mpweya sikungogwiritsidwa ntchito kokha kuti kuwonjezere kuchuluka kwa mpweya, ndiko kuti, kuwonjezera njira yotenthetsera madzi kuchokera ku gwero la kutayika kwa mpweya, kungagwiritsidwenso ntchito kuwonjezera njira yopezera malo osungira madzi kuchokera ku gwero la kutayika kwa mpweya, komanso kugwiritsa ntchito gwero la kutayika kwa mpweya kuti kuwonjezere kutentha kwa njira kuli ndi zovuta zake: zimapangitsa kuti kupsinjika kwa gawo la nembanemba kukhale kwakukulu kwambiri; mpweya wopangira filimu ndi wosavuta kuwola. Chifukwa chake nthawi zina kumawonjezera malo osungira madzi kuchokera ku gwero la kutayika kwa mpweya kusiyana ndi kusintha kutentha kwa madzi kuchokera ku gwero la kutayika kwa mpweya kumakhala bwino.
(3) kutentha kwa substrate. Kuonjezera kutentha kwa substrate kumathandiza kuti mayamwidwe pamwamba pa mamolekyu otsala a mpweya asachotsedwe, kuonjezera mphamvu yomangirira pakati pa mamolekyu osungidwa: nthawi yomweyo kumalimbikitsa kusintha kwa mayamwidwe akuthupi kukhala mayamwidwe a mankhwala, kukulitsa kuyanjana pakati pa mamolekyu, kotero kuti kapangidwe ka nembanemba kakhale kolimba. Mwachitsanzo, Mg, nembanemba, kutentha kwa substrate kufika 250 ~ 300 ℃ kungachepetse kupsinjika kwamkati, kukulitsa kuchulukana kwa kusonkhana, kuonjezera kuuma kwa nembanemba: kutentha kwa substrate kufika 120 ~ 150 ℃ kokonzedwa Zr03-Si02, nembanemba yokhala ndi zigawo zambiri, mphamvu zake zamakaniko zawonjezeka kwambiri, koma kutentha kwa substrate kumakhala kwakukulu kwambiri kudzapangitsa kuti nembanemba ikhale yofooka.
(4) Kuphulika kwa ma ion. Kuphulika kwa ma ion kumakhudza mapangidwe a malo ogwirizana kwambiri, kuuma kwa pamwamba, kukhuthala ndi kuchuluka kwa kusonkhana. Kuphulikako kusanayambe kuphimba kumatha kuyeretsa pamwamba ndikuwonjezera kumatirira; kuphulikako pambuyo pa kuphimba kumatha kukweza kuchuluka kwa kusonkhana kwa zigawo za filimu, ndi zina zotero, motero kumawonjezera mphamvu ndi kuuma kwa makina.
(5) Kuyeretsa pansi pa nthaka. Njira yoyeretsera pansi pa nthaka si yoyenera kapena si yoyera, mu substrate pali zodetsa zotsalira kapena chotsukira, kenako zimayambitsa kuipitsa kwatsopano, mu kupaka zinthu zosiyanasiyana zolumikizana ndi kumatira, zomwe zimakhudza gawo loyamba la kapangidwe kake ndi makulidwe a kuwala, komanso zimapangitsa kuti gawo la filimu likhale losavuta kuchoka pa substrate, motero kusintha makhalidwe a gawo la filimu.
– Nkhaniyi yatulutsidwa ndiwopanga makina ophikira vacuumGuangdong Zhenhua
Nthawi yotumizira: Meyi-04-2024

