የፊልም ንብርብር ሜካኒካል ጥንካሬን ለማሻሻል የሚረዱ የሂደት መንገዶች

የሜካኒካል ባህሪያት በማጣበቂያ፣ በጭንቀት፣ በመዋሃድ ጥግግት፣ ወዘተ. ተጽዕኖ ይደረግባቸዋል። በሜካኒካል ንብርብር ቁሳቁስ እና በሂደቱ ምክንያቶች መካከል ካለው ግንኙነት፣ የሜካኒካል ሽፋን ጥንካሬን ለማሻሻል ከፈለግን በሚከተሉት የሂደት መለኪያዎች ላይ ማተኮር እንዳለብን ማየት ይቻላል፡

(1) የቫክዩም ደረጃ። የፊልሙ አፈጻጸም ላይ ያለው የቫክዩም ቫክዩም በጣም ግልጽ ነው። የፊልሙ ንብርብር አብዛኛዎቹ የአፈጻጸም አመልካቾች በቫክዩም ደረጃ ላይ በጣም ጥገኛ ናቸው። ብዙውን ጊዜ የቫክዩም ዲግሪው ሲጨምር የፊልም መሰባሰቢያ ጥግግት ይጨምራል፣ ጥንካሬው ይጨምራል፣ የፊልም መዋቅር ይሻሻላል፣ የኬሚካል ስብስቡ ንፁህ ይሆናል፣ ነገር ግን በተመሳሳይ ጊዜ ጭንቀቱ ይጨምራል።

(2) የማስወገጃ መጠን። የማስወገጃ መጠንን ማሻሻል የትነት መጠንን ለማሻሻል ብቻ ሳይሆን የትነት ምንጭ የሙቀት መጠን አቀራረብን ለመጨመርም ጥቅም ላይ ሊውል ይችላል፣ ነገር ግን የትነት ምንጭ አካባቢ አቀራረብን ለመጨመር ጥቅም ላይ ሊውል ይችላል፣ ነገር ግን የአቀራረቡን የሙቀት መጠን ለመጨመር የትነት ምንጭ መጠቀም የራሱ ጉዳቶች አሉት፡ የሽፋኑ ንብርብር ውጥረት በጣም ትልቅ እንዲሆን ማድረግ፤ የፊልም ቅርጽ ያለው ጋዝ ለመበሰብ ቀላል ነው። ስለዚህ አንዳንድ ጊዜ የትነት ምንጭ አካባቢን ከፍ ማድረግ የትነት ምንጭ የሙቀት መጠንን ለማሻሻል ከመጠቀም ይልቅ የበለጠ ምቹ ነው።

(3) የንጣፍ ሙቀት። የንጣፍ ሙቀት መጨመር በተቀማጩ ሞለኪውሎች መካከል ያለውን የንጣፍ ወለል ላይ ለመምጠጥ ምቹ ነው፣ ይህም የንጣፍ እና የማሰሪያ ኃይልን ለመጨመር ይረዳል፡ በተመሳሳይ ጊዜ የአካላዊ መምጠጥ ወደ ኬሚካል መምጠጥ መለወጥን ያበረታታል፣ በሞለኪውሎች መካከል ያለውን መስተጋብር ያሻሽላል፣ ስለዚህም የንጣፍ ሽፋን መዋቅር ጥብቅ እንዲሆን ያደርጋል። ለምሳሌ፣ Mg፣ membrane፣ substrate ማሞቂያ ወደ 250 ~ 300 ℃ ውስጣዊ ውጥረትን ሊቀንስ፣ የመዋሃድ ጥግግትን ሊያሻሽል፣ የንጣፍ ንብርብር ጥንካሬን ሊጨምር ይችላል፡ substrate ማሞቂያ ወደ 120 ~ 150 ℃ የተዘጋጀ Zr03-Si02፣ ባለብዙ ሽፋን ሽፋን፣ ሜካኒካል ጥንካሬው በጣም ጨምሯል፣ ነገር ግን substrate የሙቀት መጠኑ በጣም ከፍተኛ ከሆነ የንጣፍ ንብርብር መበላሸት ያስከትላል።

(4) የአዮን ቦምብ ድብደባ። የአዮን ቦምብ ድብደባ በከፍተኛ ሁኔታ የተዋሃዱ ገጽታዎች፣ የወለል ሸካራነት፣ የኦክሳይድ እና የመዋሃድ ጥግግት ላይ ተጽእኖ ያሳድራል። ከሽፋኑ በፊት ቦምብ ድብደባው መሬቱን ሊያጸዳ እና ማጣበቂያውን ሊጨምር ይችላል፤ ከሸፈነ በኋላ ቦምብ ድብደባ የፊልም ንብርብር የመዋሃድ ጥግግት ወዘተ ሊያሻሽል ይችላል፣ በዚህም የሜካኒካል ጥንካሬ እና ጥንካሬ ይጨምራል።

(5) የንዑስ ክፍል ጽዳት። የንዑስ ክፍል ጽዳት ዘዴ ተገቢ አይደለም ወይም ንፁህ አይደለም፣ በንዑስ ክፍል ቀሪ ቆሻሻዎች ወይም የጽዳት ወኪል ውስጥ፣ ከዚያም አዲስ ብክለት ያስከትላል፣ የተለያዩ የመተሳሰር ሁኔታዎችን እና ማጣበቂያዎችን በመቀባት፣ የመዋቅር ባህሪያትን እና የኦፕቲካል ውፍረትን የመጀመሪያውን ንብርብር ይነካል፣ ነገር ግን የፊልም ንብርብር ከንዑስ ክፍል ለመውጣት ቀላል ያደርገዋል፣ በዚህም የፊልም ንብርብር ባህሪያትን ይለውጣል።

- ይህ ጽሑፍ የወጣው በየቫክዩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ