Мембраны давхаргын механик шинж чанарт наалдац, стресс, агрегацийн нягтрал гэх мэт нөлөөлдөг. Мембраны давхаргын материал ба процессын хүчин зүйлсийн хоорондын хамаарлаас харахад хэрэв бид мембраны давхаргын механик бат бөх чанарыг сайжруулахыг хүсвэл дараах процессын параметрүүдэд анхаарлаа хандуулах хэрэгтэй.
(1) вакуум түвшин. Киноны гүйцэтгэлд вакуум нөлөөлөх нь маш тодорхой. Кино давхаргын гүйцэтгэлийн ихэнх үзүүлэлтүүд нь вакуум түвшингээс ихээхэн хамаардаг. Ихэвчлэн вакуумын зэрэг нэмэгдэхийн хэрээр киноны агрегацийн нягтрал нэмэгдэж, хатуулаг нэмэгдэж, киноны бүтэц сайжирч, химийн найрлага цэвэр болдог ч стресс нь мөн нэмэгддэг.
(2) Тунадасны хурд. Тунадасны хурдыг сайжруулах нь зөвхөн ууршилтын хурдыг сайжруулахад ашиглагдаад зогсохгүй ууршилтын эх үүсвэрийн температурыг нэмэгдүүлэх арга барилыг ашиглаж болохоос гадна ууршилтын эх үүсвэрийн температурыг нэмэгдүүлэх арга нь сул талуудтай: мембраны давхаргын стресс хэт их байх; хальс үүсгэгч хий нь задрахад хялбар байдаг. Тиймээс заримдаа ууршилтын эх үүсвэрийн температурыг сайжруулахаас илүү ууршилтын эх үүсвэрийн талбайг нэмэгдүүлэх нь илүү таатай байдаг.
(3) Субстратын температур. Субстратын температурыг нэмэгдүүлэх нь субстратын гадаргуу дээрх үлдсэн хийн молекулуудыг адсорбцид оруулахад тусалдаг бөгөөд энэ нь субстрат болон хуримтлагдсан молекулуудын хоорондох холболтын хүчийг нэмэгдүүлдэг: үүний зэрэгцээ физик адсорбцийг химийн адсорбци болгон хувиргах, молекулуудын харилцан үйлчлэлийг сайжруулах, ингэснээр мембраны давхаргын бүтэц нягт болно. Жишээлбэл, магни, мембран, субстратыг 250 ~ 300 ℃ хүртэл халаах нь дотоод стрессийг бууруулж, нэгтгэх нягтралыг сайжруулж, мембраны давхаргын хатуулгийг нэмэгдүүлдэг: субстратыг 120 ~ 150 ℃ хүртэл халаахад Zr03-Si02 бэлтгэсэн олон давхаргат мембран, түүний механик бат бөх чанар ихээхэн нэмэгддэг боловч субстратын температур хэт өндөр байвал мембраны давхарга мууддаг.
(4) Ионы бөмбөгдөлт. Ионы бөмбөгдөлт нь өндөр нягтралтай гадаргуу үүсэх, гадаргуугийн барзгар байдал, исэлдэлт болон агрегацийн нягтралд нөлөөлдөг. Бүрэхээс өмнөх бөмбөгдөлт нь гадаргууг цэвэрлэж, наалдацыг нэмэгдүүлдэг; бүрэхийн дараах бөмбөгдөлт нь хальсан давхаргын агрегацийн нягтрал гэх мэтийг сайжруулж, улмаар механик бат бөх, хатуулгийг нэмэгдүүлдэг.
(5) Суурь цэвэрлэгээ. Суурь цэвэрлэгээний арга нь тохиромжгүй эсвэл цэвэр биш тул суурь дээр үлдэгдэл хольц эсвэл цэвэрлэгээний бодис агуулагдаж, дараа нь шинэ бохирдол үүсч, бүрхүүлд янз бүрийн наалдац үүсч, эхний давхаргын бүтцийн шинж чанар, оптик зузаанд нөлөөлөхөөс гадна хальсан давхаргыг суурь дээрээс амархан салгаж, улмаар хальсан давхаргын шинж чанарыг өөрчилдөг.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 5-р сарын 4