Sifat mekanik lapisan membran dipengaruhi oleh adhesi, tegangan, kepadatan agregasi, dan lain-lain. Dari hubungan antara material lapisan membran dan faktor proses, dapat dilihat bahwa jika kita ingin meningkatkan kekuatan mekanik lapisan membran, kita harus fokus pada parameter proses berikut:
(1) Tingkat vakum. Pengaruh vakum terhadap kinerja film sangat jelas. Sebagian besar indikator kinerja lapisan film sangat bergantung pada tingkat vakum. Biasanya, seiring peningkatan derajat vakum, kepadatan agregasi film meningkat, kekencangan meningkat, struktur film membaik, komposisi kimia menjadi lebih murni, tetapi pada saat yang sama tegangan juga meningkat.
(2) Laju pengendapan. Meningkatkan laju pengendapan tidak hanya dapat digunakan untuk meningkatkan laju penguapan, yaitu dengan meningkatkan pendekatan suhu sumber penguapan, tetapi juga dapat digunakan dengan meningkatkan pendekatan luas area sumber penguapan untuk mencapai hal tersebut. Namun, penggunaan pendekatan peningkatan suhu sumber penguapan memiliki kekurangan: membuat tegangan lapisan membran terlalu besar; gas pembentuk film mudah terurai. Jadi, terkadang meningkatkan luas area sumber penguapan lebih menguntungkan daripada meningkatkan suhu sumber penguapan.
(3) Suhu substrat. Peningkatan suhu substrat bermanfaat untuk menghilangkan sisa molekul gas yang teradsorpsi pada permukaan substrat, meningkatkan gaya ikat antara molekul yang diendapkan dengan substrat: pada saat yang sama akan mendorong konversi adsorpsi fisik menjadi adsorpsi kimia, meningkatkan interaksi antar molekul, sehingga struktur lapisan membran menjadi rapat. Misalnya, membran Mg, pemanasan substrat hingga 250 ~ 300 ℃ dapat mengurangi tegangan internal, meningkatkan kepadatan agregasi, meningkatkan kekerasan lapisan membran: pemanasan substrat hingga 120 ~ 150 ℃ menghasilkan membran multilapis Zr03-Si02, kekuatan mekaniknya meningkat pesat, tetapi suhu substrat yang terlalu tinggi akan menyebabkan kerusakan lapisan membran.
(4) Pembombardiran ion. Pembombardiran ion berpengaruh pada pembentukan permukaan yang sangat kohesif, kekasaran permukaan, oksidasi, dan kepadatan agregasi. Pembombardiran sebelum pelapisan dapat membersihkan permukaan dan meningkatkan daya rekat; pembombardiran setelah pelapisan dapat meningkatkan kepadatan agregasi lapisan film, dan lain-lain, sehingga meningkatkan kekuatan mekanik dan kekerasan.
(5) Pembersihan substrat. Metode pembersihan substrat yang tidak tepat atau tidak bersih, sehingga terdapat sisa kotoran atau zat pembersih pada substrat, yang menyebabkan timbulnya polusi baru, sehingga lapisan film mengalami perbedaan kondisi kohesi dan adhesi, yang mempengaruhi sifat struktural dan ketebalan optik lapisan pertama, dan juga membuat lapisan film mudah terlepas dari substrat, sehingga mengubah karakteristik lapisan film.
–Artikel ini dirilis olehprodusen mesin pelapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktu posting: 04 Mei 2024