Sifat mekanik lapisan membran dipengaruhi dening adhesi, stres, kapadhetan agregasi, lan liya-liyane. Saka hubungan antarane bahan lapisan membran lan faktor proses, bisa dideleng yen kita pengin nambah kekuatan mekanik lapisan membran, kita kudu fokus ing parameter proses ing ngisor iki:
(1) tingkat vakum. Vakum marang kinerja film iku cetha banget. Umume indikator kinerja lapisan film gumantung banget karo tingkat vakum. Biasane, nalika tingkat vakum mundhak, kapadhetan agregasi film mundhak, kekencengan mundhak, struktur film saya apik, komposisi kimia dadi murni, nanging ing wektu sing padha stres uga mundhak.
(2) Laju pengendapan. Nambah laju pengendapan ora mung bisa digunakake kanggo ningkatake laju penguapan, yaiku, nambah pendekatan suhu sumber penguapan, uga bisa digunakake kanggo nambah pendekatan area sumber penguapan, nanging panggunaan sumber penguapan kanggo nambah suhu pendekatan kasebut nduweni kekurangan: nggawe stres lapisan membran dadi gedhe banget; gas pembentuk film gampang bosok. Dadi kadhangkala nambah area sumber penguapan tinimbang nambah suhu sumber penguapan luwih disenengi.
(3) suhu substrat. Ningkatake suhu substrat kondusif kanggo adsorpsi ing permukaan substrat saka molekul gas sing isih ana kanggo ngilangi, nambah substrat lan gaya pengikatan antarane molekul sing diendapkan: ing wektu sing padha bakal ningkatake konversi adsorpsi fisik dadi adsorpsi kimia, nambah interaksi antarane molekul, supaya struktur lapisan membran rapet. Contone, pemanasan substrat Mg, membran, nganti 250 ~ 300 ℃ bisa nyuda stres internal, nambah kapadhetan agregasi, nambah kekerasan lapisan membran: pemanasan substrat nganti 120 ~ 150 ℃ sing disiapake Zr03-Si02, membran multilayer, kekuatan mekanike mundhak akeh, nanging suhu substrat sing dhuwur banget bakal nyebabake kerusakan lapisan membran.
(4) Bombardment ion. Bombardment ion nduweni pengaruh marang pembentukan permukaan sing kohesif banget, kekasaran permukaan, oksidasi lan kepadatan agregasi. Bombardment sadurunge lapisan bisa ngresiki permukaan lan nambah adhesi; bombardment sawise lapisan bisa nambah kepadatan agregasi lapisan film, lan liya-liyane, saengga nambah kekuatan mekanik lan kekerasan.
(5) Ngresiki substrat. Cara ngresiki substrat sing ora cocog utawa ora resik, sisa rereged utawa agen pembersih ing substrat, banjur nyebabake polusi anyar, kondisi kohesi lan adhesi ing lapisan sing beda-beda, mengaruhi sifat struktural lan kekandelan optik lapisan pertama, nanging uga nggawe lapisan film gampang dicopot saka substrat, saengga ngganti karakteristik lapisan film kasebut.
-Artikel iki diterbitake deningprodusen mesin lapisan vakumGuangdong Zhenhua
Wektu kiriman: 04-Mei-2024