Các đặc tính cơ học của lớp màng bị ảnh hưởng bởi độ bám dính, ứng suất, mật độ kết tụ, v.v. Từ mối quan hệ giữa vật liệu lớp màng và các yếu tố quy trình, có thể thấy rằng nếu muốn cải thiện độ bền cơ học của lớp màng, chúng ta nên tập trung vào các thông số quy trình sau:
(1) Mức độ chân không. Ảnh hưởng của chân không lên hiệu suất của màng phim rất rõ rệt. Hầu hết các chỉ số hiệu suất của lớp màng phim đều phụ thuộc rất nhiều vào mức độ chân không. Thông thường, khi độ chân không tăng lên, mật độ kết tụ của màng phim tăng lên, độ cứng tăng lên, cấu trúc màng phim được cải thiện, thành phần hóa học trở nên tinh khiết hơn, nhưng đồng thời ứng suất cũng tăng lên.
(2) Tốc độ lắng đọng. Việc cải thiện tốc độ lắng đọng không chỉ có thể được sử dụng để cải thiện tốc độ bay hơi, tức là tăng nhiệt độ nguồn bay hơi, mà còn có thể được sử dụng để tăng diện tích nguồn bay hơi, nhưng việc sử dụng nguồn bay hơi để tăng nhiệt độ có nhược điểm: làm cho ứng suất lớp màng quá lớn; khí tạo màng dễ bị phân hủy. Vì vậy, đôi khi việc tăng diện tích nguồn bay hơi có lợi hơn so với việc cải thiện nhiệt độ nguồn bay hơi.
(3) nhiệt độ chất nền. Tăng nhiệt độ chất nền có lợi cho việc hấp phụ các phân tử khí còn lại trên bề mặt chất nền để loại trừ, tăng lực liên kết giữa chất nền và các phân tử được lắng đọng: đồng thời sẽ thúc đẩy sự chuyển đổi từ hấp phụ vật lý sang hấp phụ hóa học, tăng cường tương tác giữa các phân tử, làm cho cấu trúc lớp màng chặt chẽ hơn. Ví dụ, màng Mg, nung nóng chất nền đến 250 ~ 300 ℃ có thể làm giảm ứng suất bên trong, cải thiện mật độ kết tụ, tăng độ cứng của lớp màng: nung nóng chất nền đến 120 ~ 150 ℃ để chế tạo màng đa lớp Zr03-Si02, độ bền cơ học của nó tăng lên rất nhiều, nhưng nhiệt độ chất nền quá cao sẽ gây ra sự xuống cấp của lớp màng.
(4) Bắn phá ion. Bắn phá ion có tác dụng lên sự hình thành các bề mặt có độ kết dính cao, độ nhám bề mặt, quá trình oxy hóa và mật độ kết tụ. Việc bắn phá trước khi phủ có thể làm sạch bề mặt và tăng độ bám dính; việc bắn phá sau khi phủ có thể cải thiện mật độ kết tụ của lớp màng, v.v., do đó làm tăng độ bền cơ học và độ cứng.
(5) Làm sạch chất nền. Phương pháp làm sạch chất nền không phù hợp hoặc không sạch, còn sót lại tạp chất hoặc chất tẩy rửa trên chất nền, sau đó gây ra ô nhiễm mới, làm thay đổi điều kiện liên kết và độ bám dính của lớp phủ, ảnh hưởng đến các đặc tính cấu trúc và độ dày quang học của lớp đầu tiên, đồng thời làm cho lớp màng dễ bị bong ra khỏi chất nền, do đó làm thay đổi đặc tính của lớp màng.
–Bài viết này được phát hành bởiNhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng bài: 04/05/2024