Na właściwości mechaniczne warstwy membrany wpływają takie czynniki jak przyczepność, naprężenie, gęstość agregacji itp. Z relacji między materiałem warstwy membrany a czynnikami procesu wynika, że jeśli chcemy poprawić wytrzymałość mechaniczną warstwy membrany, powinniśmy skupić się na następujących parametrach procesu:
(1) Poziom próżni. Wpływ próżni na wydajność folii jest bardzo oczywisty. Większość wskaźników wydajności warstwy folii jest silnie zależna od poziomu próżni. Zwykle wraz ze wzrostem poziomu próżni wzrasta gęstość agregacji folii, wzrasta jej twardość, poprawia się struktura folii, skład chemiczny staje się czystszy, ale jednocześnie wzrasta również naprężenie.
(2) Szybkość osadzania. Zwiększenie szybkości osadzania może nie tylko poprawić szybkość parowania, czyli zwiększyć temperaturę źródła parowania, ale również zwiększyć jego powierzchnię. Jednak wykorzystanie źródła parowania do zwiększenia temperatury ma swoje wady: powoduje zbyt duże naprężenie warstwy membrany; gaz tworzący film łatwo ulega rozkładowi. Dlatego czasami korzystniejsze jest zwiększenie powierzchni źródła parowania niż poprawa temperatury źródła parowania.
(3) Temperatura podłoża. Wzrost temperatury podłoża sprzyja adsorpcji na powierzchni podłoża pozostałych cząsteczek gazu, co prowadzi do ich wyłączenia, zwiększenia powierzchni podłoża i siły wiązania między osadzanymi cząsteczkami. Jednocześnie sprzyja to konwersji adsorpcji fizycznej na chemiczną, wzmacniając interakcje między cząsteczkami i zapewniając szczelność struktury warstwy membrany. Na przykład, ogrzanie podłoża Mg do temperatury 250–300°C może zmniejszyć naprężenia wewnętrzne, poprawić gęstość agregacji i zwiększyć twardość warstwy membrany. Podgrzanie podłoża do temperatury 120–150°C, przygotowanej membrany wielowarstwowej ZrO3-SiO2, znacznie zwiększa jej wytrzymałość mechaniczną, ale zbyt wysoka temperatura podłoża może spowodować pogorszenie jakości warstwy membrany.
(4) Bombardowanie jonowe. Bombardowanie jonowe wpływa na tworzenie powierzchni o wysokiej spoistości, chropowatość powierzchni, utlenianie i gęstość agregacji. Bombardowanie przed nałożeniem powłoki może oczyścić powierzchnię i zwiększyć przyczepność; bombardowanie po nałożeniu powłoki może poprawić gęstość agregacji warstwy filmu itp., zwiększając w ten sposób wytrzymałość mechaniczną i twardość.
(5) Czyszczenie podłoża. Niewłaściwa metoda czyszczenia podłoża lub brak czystości. Pozostałości zanieczyszczeń lub środka czyszczącego w podłożu powodują nowe zanieczyszczenia. W powłoce o różnych warunkach spójności i przyczepności, co wpływa na właściwości strukturalne i grubość optyczną pierwszej warstwy, a także sprawia, że warstwa folii łatwo odrywa się od podłoża, zmieniając w ten sposób jej właściwości.
– Artykuł ten został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania próżniowegoGuangdong Zhenhua
Czas publikacji: 04-05-2024