Membrana qatlamining mexanik xususiyatlariga yopishish, kuchlanish, agregatsiya zichligi va boshqalar ta'sir qiladi. Membrana qatlami materiali va jarayon omillari o'rtasidagi bog'liqlikdan ko'rinib turibdiki, agar biz membrana qatlamining mexanik mustahkamligini oshirishni istasak, quyidagi jarayon parametrlariga e'tibor qaratishimiz kerak:
(1) vakuum darajasi. Vakuumning plyonka ishlashiga ta'siri juda aniq. Plyonka qatlamining ishlash ko'rsatkichlarining aksariyati vakuum darajasiga juda bog'liq. Odatda, vakuum darajasi oshgani sayin, plyonka agregatsiyasi zichligi oshadi, qattiqlik oshadi, plyonka tuzilishi yaxshilanadi, kimyoviy tarkibi sof bo'ladi, lekin shu bilan birga stress ham ortadi.
(2) Cho'kish tezligi. Cho'kish tezligini oshirish nafaqat bug'lanish tezligini oshirish, balki bug'lanish manbai haroratini oshirish usulidan ham foydalanish mumkin, balki bug'lanish manbai maydonini oshirish usulidan foydalanish ham haroratni oshirish usulining kamchiliklariga ega: membrana qatlamidagi stress juda katta bo'ladi; plyonka hosil qiluvchi gaz parchalanishi oson. Shuning uchun ba'zida bug'lanish manbai maydonini oshirish bug'lanish manbai haroratini yaxshilashdan ko'ra qulayroqdir.
(3) Substrat harorati. Substrat haroratini oshirish substrat yuzasida qolgan gaz molekulalarining adsorbsiyasini bartaraf etishga yordam beradi, substrat va cho'ktirilgan molekulalar orasidagi bog'lanish kuchini oshiradi: shu bilan birga fizik adsorbsiyani kimyoviy adsorbsiyaga aylantirishga yordam beradi, molekulalar orasidagi o'zaro ta'sirni kuchaytiradi, natijada membrana qatlami tuzilishi zich bo'ladi. Masalan, Mg, membrana, substratni 250 ~ 300 ℃ gacha qizdirish ichki stressni kamaytirishi, agregatsiya zichligini oshirishi va membrana qatlamining qattiqligini oshirishi mumkin: substratni 120 ~ 150 ℃ gacha qizdirish Zr03-Si02 ni tayyorlash uchun ko'p qatlamli membrana, uning mexanik kuchi sezilarli darajada oshadi, lekin substrat harorati juda yuqori bo'lsa, membrana qatlamining yomonlashishiga olib keladi.
(4) Ion bombardimoni. Ion bombardimoni yuqori darajada yopishqoq sirtlarning shakllanishiga, sirt pürüzlülüğüne, oksidlanishga va agregatsiya zichligiga ta'sir qiladi. Qoplamadan oldin bombardimon qilish sirtni tozalashi va yopishishni oshirishi mumkin; qoplamadan keyin bombardimon qilish plyonka qatlamining agregatsiya zichligini va boshqalarni yaxshilashi mumkin, shu bilan mexanik mustahkamlik va qattiqlikni oshiradi.
(5) Substratni tozalash. Substratni tozalash usuli mos emas yoki toza emas, substratda qoldiq aralashmalar yoki tozalash vositasi bo'ladi, keyin yangi ifloslanishga olib keladi, qoplamada turli xil yopishish sharoitlari va yopishishlar paydo bo'ladi, bu birinchi qatlamning strukturaviy xususiyatlari va optik qalinligiga ta'sir qiladi, shuningdek, plyonka qatlamini substratdan osongina ajratib oladi va shu bilan plyonka qatlamining xususiyatlarini o'zgartiradi.
–Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Joylashtirilgan vaqt: 2024-yil 4-may