تتأثر الخصائص الميكانيكية لطبقة الغشاء بالالتصاق والإجهاد وكثافة التكتل، وما إلى ذلك. ومن خلال العلاقة بين مادة طبقة الغشاء وعوامل العملية، يتضح أنه إذا أردنا تحسين القوة الميكانيكية لطبقة الغشاء، فيجب علينا التركيز على معايير العملية التالية:
(1) مستوى الفراغ. يؤثر الفراغ بشكل واضح على أداء الغشاء. فمعظم مؤشرات أداء طبقة الغشاء تعتمد بشكل كبير على مستوى الفراغ. عادةً، مع ازدياد درجة الفراغ، تزداد كثافة تكتل الغشاء، وتزداد صلابته، ويتحسن تركيبه، ويصبح تركيبه الكيميائي أنقى، ولكن في الوقت نفسه يزداد الإجهاد أيضًا.
(2) معدل الترسيب. لا يقتصر تحسين معدل الترسيب على تحسين معدل التبخر، أي زيادة درجة حرارة مصدر التبخر، بل يمكن استخدامه أيضًا لزيادة مساحة مصدر التبخر. إلا أن استخدام مصدر التبخر لزيادة درجة الحرارة له عيوبه: زيادة إجهاد طبقة الغشاء بشكل كبير، وسهولة تحلل الغاز المُشكِّل للغشاء. لذا، في بعض الأحيان، تكون زيادة مساحة مصدر التبخر أفضل من تحسين درجة حرارته.
(3) درجة حرارة الركيزة. يُسهم رفع درجة حرارة الركيزة في زيادة امتصاص جزيئات الغاز المتبقية على سطحها، مما يُعزز قوة الترابط بين الجزيئات المترسبة. كما يُعزز هذا الارتفاع تحويل الامتصاص الفيزيائي إلى امتصاص كيميائي، ويُحسّن التفاعل بين الجزيئات، مما يُؤدي إلى بنية طبقة غشائية متماسكة. على سبيل المثال، عند تسخين غشاء المغنيسيوم إلى 250-300 درجة مئوية، يُمكن تقليل الإجهاد الداخلي، وتحسين كثافة التجمع، وزيادة صلابة طبقة الغشاء. أما عند تسخين الركيزة إلى 120-150 درجة مئوية، فقد تم تحضير غشاء متعدد الطبقات من ZrO3-SiO2، مما أدى إلى زيادة قوته الميكانيكية بشكل ملحوظ. مع ذلك، فإن ارتفاع درجة حرارة الركيزة بشكل مفرط قد يُؤدي إلى تدهور طبقة الغشاء.
(4) القصف الأيوني. يؤثر القصف الأيوني على تكوين أسطح شديدة التماسك، وخشونة السطح، والأكسدة، وكثافة التكتل. يمكن للقصف قبل الطلاء تنظيف السطح وزيادة الالتصاق؛ ويمكن للقصف بعد الطلاء تحسين كثافة تكتل طبقة الفيلم، وما إلى ذلك، مما يزيد من القوة الميكانيكية والصلابة.
(5) تنظيف الركيزة. إذا لم تكن طريقة تنظيف الركيزة مناسبة أو لم تكن نظيفة، فإن وجود شوائب متبقية أو مواد تنظيف في الركيزة سيؤدي إلى تلوث جديد، مما يؤثر على ظروف التماسك والالتصاق في الطلاء، ويؤثر على الخصائص الهيكلية والسمك البصري للطبقة الأولى، كما يجعل طبقة الفيلم سهلة الانفصال عن الركيزة، وبالتالي تغيير خصائص طبقة الفيلم.
– نُشر هذا المقال بواسطةمصنع آلات الطلاء بالتفريغقوانغدونغ تشنهوا
تاريخ النشر: 4 مايو 2024