Membrana gatlagynyň mehaniki häsiýetlerine ýelmeşme, stres, agregasiýanyň dykyzlygy we ş.m. täsir edýär. Membrana gatlagynyň materialy bilen proses faktorlarynyň arasyndaky gatnaşykdan, membrana gatlagynyň mehaniki berkligini ýokarlandyrmak isleýän bolsak, aşakdaky proses parametrlerine üns bermelidigimizi görmek bolýar:
(1) wakuum derejesi. Plenkanyň işine wakuumyň täsiri örän aýdyňdyr. Plenka gatlagynyň görkezijileriniň köpüsi wakuum derejesine örän baglydyr. Adatça, wakuum derejesi ýokarlananda, plyonkanyň agregasiýasynyň dykyzlygy artýar, berkligi artýar, plyonkanyň gurluşy gowulanýar, himiki düzümi arassa bolýar, ýöne şol bir wagtyň özünde stres hem artýar.
(2) Çökme tizligi. Çökme tizligini ýokarlandyrmak diňe bir bugarma tizligini ýokarlandyrmak üçin däl, eýsem bugarma çeşmesiniň temperaturasyny ýokarlandyrmak üçin hem ulanylyp bilner, eýsem bugarma çeşmesiniň meýdanyny ýokarlandyrmak üçin hem ulanylyp bilner, bu usulyň temperaturasyny ýokarlandyrmak üçin bugarma çeşmesini ulanmagyň kemçilikleri bar: membrana gatlagynyň stresini gaty uly edýär; plýonka emele getirýän gazyň parçalanmagy aňsat. Şonuň üçin käwagt bugarma çeşmesiniň meýdanyny artdyrmak bugarma çeşmesiniň temperaturasyny gowulandyrmakdan has amatlydyr.
(3) Substrat temperaturasy. Substrat temperaturasynyň ýokarlanmagy galan gaz molekulalarynyň substrat ýüzünde adsorbsiýasyna ýardam edýär, substrat we çökdürilen molekulalaryň arasyndaky baglanyşyk güýjüni artdyrýar: şol bir wagtyň özünde fiziki adsorbsiýanyň himiki adsorbsiýa öwrülmegine ýardam eder, molekulalaryň arasyndaky özara täsiri güýçlendirer, şonuň üçin membrana gatlagynyň gurluşy berk bolar. Mysal üçin, Mg, membrana, substraty 250 ~ 300 ℃ çenli gyzdyrmak içki dartgynlylygy azaldyp, agregasiýanyň dykyzlygyny gowulandyryp, membrana gatlagynyň gatylygyny ýokarlandyryp biler: substraty 120 ~ 150 ℃ çenli gyzdyrmak Zr03-Si02 taýýarlanan köp gatlakly membrana, onuň mehaniki güýji ep-esli ýokarlanýar, ýöne substrat temperaturasy gaty ýokary bolsa, membrana gatlagynyň zaýalanmagyna sebäp bolar.
(4) Ion bombardmany. Ion bombardmany ýokary derejede birleşýän ýüzleriň emele gelmegine, ýüziň gödekligine, oksidlenmegine we agregasiýanyň dykyzlygyna täsir edýär. Örtmezden öň bombardmany ýüzi arassalap, ýelmeşmegi artdyryp biler; örtülenden soň bombardmany plýonka gatlagynyň agregasiýanyň dykyzlygyny we ş.m. gowulandyryp biler, şeýlelik bilen mehaniki berkligi we gatylygy ýokarlandyrýar.
(5) Substraty arassalamak. Substraty arassalamak usuly laýyk däl ýa-da arassa däl, substratda galan hapaçylyklar ýa-da arassalaýjy serişdeler bar, soňra täze hapalanmalara sebäp bolýar, örtükde dürli utgaşyk şertleri we ýelmeşme bolup, birinji gatlagyň gurluş häsiýetlerine we optiki galyňlygyna täsir edýär, şeýle hem plýonka gatlagynyň substratdan aňsat aýrylmagyna sebäp bolýar, şeýlelik bilen plýonka gatlagynyň häsiýetlerini üýtgedýär.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 4-nji maýy