मेम्ब्रेन लेयरच्या यांत्रिक गुणधर्मांवर आसंजन, ताण, एकत्रीकरण घनता इत्यादींचा परिणाम होतो. मेम्ब्रेन लेयरचे मटेरियल आणि प्रक्रिया घटक यांच्यातील संबंधावरून असे दिसून येते की, जर आपल्याला मेम्ब्रेन लेयरची यांत्रिक शक्ती सुधारायची असेल, तर आपण खालील प्रक्रिया पॅरामीटर्सवर लक्ष केंद्रित केले पाहिजे:
(१) व्हॅक्यूमची पातळी. फिल्मच्या कार्यक्षमतेवर व्हॅक्यूमचा प्रभाव खूप स्पष्ट दिसतो. फिल्मच्या थराचे बहुतेक कार्यक्षमता निर्देशक व्हॅक्यूमच्या पातळीवर खूप अवलंबून असतात. सामान्यतः, जशी व्हॅक्यूमची पातळी वाढते, तशी फिल्मची एकत्रीकरण घनता वाढते, दृढता वाढते, फिल्मची रचना सुधारते, रासायनिक रचना शुद्ध होते, परंतु त्याच वेळी ताण देखील वाढतो.
(२) निक्षेपण दर. निक्षेपण दर सुधारण्यासाठी केवळ बाष्पीभवन दर सुधारण्याचाच उपयोग होत नाही, म्हणजेच बाष्पीभवन स्रोताचे तापमान वाढवण्याच्या पद्धतीचा वापर करता येतो, तर बाष्पीभवन स्रोताचे क्षेत्रफळ वाढवण्याच्या पद्धतीचाही उपयोग करता येतो, परंतु बाष्पीभवन स्रोताचे तापमान वाढवण्याच्या पद्धतीचे काही तोटे आहेत: त्यामुळे पडदा थरावरचा ताण खूप वाढतो; आणि फिल्म-फॉर्मिंग वायूचे सहज विघटन होते. म्हणून कधीकधी बाष्पीभवन स्रोताचे तापमान सुधारण्यापेक्षा त्याचे क्षेत्रफळ वाढवणे अधिक फायदेशीर ठरते.
(३) सब्सट्रेटचे तापमान. सब्सट्रेटचे तापमान वाढवल्याने सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावरील उर्वरित वायू रेणूंचे अधिशोषण होण्यास मदत होते, तसेच सब्सट्रेट आणि जमा झालेल्या रेणूंमधील बंधन शक्ती वाढते. त्याच वेळी, यामुळे भौतिक अधिशोषणाचे रासायनिक अधिशोषणात रूपांतर होण्यास प्रोत्साहन मिळते, रेणूंमधील आंतरक्रिया वाढते, ज्यामुळे पडदा-स्तराची रचना घट्ट होते. उदाहरणार्थ, मॅग्नेशियम (Mg) पडद्यासाठी सब्सट्रेटला २५० ~ ३०० ℃ पर्यंत गरम केल्यास अंतर्गत ताण कमी होतो, एकत्रीकरण घनता सुधारते आणि पडदा-स्तराची कडकपणा वाढतो. तर, सब्सट्रेटला १२० ~ १५० ℃ पर्यंत गरम करून तयार केलेल्या Zr03-SiO2 बहुस्तरीय पडद्याची यांत्रिक शक्ती खूप वाढते, परंतु सब्सट्रेटचे तापमान खूप जास्त असल्यास पडदा-स्तराची झीज होते.
(4) आयन मारा. आयन माऱ्याचा परिणाम अत्यंत एकसंध पृष्ठभागांची निर्मिती, पृष्ठभागाचा खडबडीतपणा, ऑक्सिडेशन आणि एकत्रीकरण घनतेवर होतो. कोटिंग करण्यापूर्वी केलेला मारा पृष्ठभाग स्वच्छ करू शकतो आणि आसंजन वाढवू शकतो; कोटिंग केल्यानंतर केलेला मारा फिल्म लेयरची एकत्रीकरण घनता इत्यादी सुधारू शकतो, ज्यामुळे यांत्रिक शक्ती आणि कडकपणा वाढतो.
(5) सब्सट्रेटची स्वच्छता. सब्सट्रेट स्वच्छ करण्याची पद्धत योग्य नसल्यास किंवा सब्सट्रेट स्वच्छ नसल्यास, सब्सट्रेटमध्ये अवशिष्ट अशुद्धी किंवा स्वच्छता एजंट राहिल्याने नवीन प्रदूषण होते, ज्यामुळे कोटिंगच्या सुसंगततेच्या आणि आसंजनाच्या वेगवेगळ्या स्थिती निर्माण होतात. याचा परिणाम पहिल्या थराच्या संरचनात्मक गुणधर्मांवर आणि ऑप्टिकल जाडीवर होतो, तसेच फिल्मचा थर सब्सट्रेटपासून सहजपणे निघून येतो, ज्यामुळे फिल्मच्या थराची वैशिष्ट्ये बदलतात.
हा लेख यांनी प्रसिद्ध केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन उत्पादकग्वांगडोंग झेन्हुआ
पोस्ट करण्याची वेळ: मे-०४-२०२४