Membran tabakasının mekanik özellikleri yapışma, gerilim, agregasyon yoğunluğu vb. faktörlerden etkilenir. Membran tabakası malzemesi ve işlem faktörleri arasındaki ilişkiden, membran tabakasının mekanik dayanımını iyileştirmek istiyorsak aşağıdaki işlem parametrelerine odaklanmamız gerektiği görülebilir:
(1) Vakum seviyesi. Vakumun filmin performansı üzerindeki etkisi çok belirgindir. Film tabakasının performans göstergelerinin çoğu vakum seviyesine çok bağlıdır. Genellikle, vakum derecesi arttıkça film agregasyon yoğunluğu artar, sertlik artar, film yapısı iyileşir, kimyasal bileşim saflaşır, ancak aynı zamanda gerilim de artar.
(2) Biriktirme hızı. Biriktirme hızını iyileştirmek sadece buharlaşma hızını iyileştirmek için değil, yani buharlaşma kaynağı sıcaklığını artırmak için de kullanılabilir; ayrıca buharlaşma kaynağı alanını artırmak için de kullanılabilir, ancak buharlaşma kaynağı sıcaklığını artırma yaklaşımının dezavantajları vardır: membran tabakası gerilimini çok büyük hale getirir; film oluşturan gaz kolayca ayrışır. Bu nedenle bazen buharlaşma kaynağı sıcaklığını iyileştirmekten ziyade buharlaşma kaynağı alanını artırmak daha avantajlıdır.
(3) alt tabaka sıcaklığı. Alt tabaka sıcaklığının artırılması, kalan gaz moleküllerinin alt tabaka yüzeyinde adsorpsiyonunu dışlamaya, alt tabaka ile biriken moleküller arasındaki bağlanma kuvvetini artırmaya elverişlidir: aynı zamanda fiziksel adsorpsiyonun kimyasal adsorpsiyona dönüşümünü teşvik eder, moleküller arasındaki etkileşimi artırır, böylece membran tabakası yapısı sıkılaşır. Örneğin, Mg membran, alt tabakanın 250~300 ℃'ye ısıtılması iç gerilimi azaltabilir, agregasyon yoğunluğunu artırabilir, membran tabakasının sertliğini artırabilir: alt tabakanın 120~150 ℃'ye ısıtılmasıyla hazırlanan Zr03-Si02 çok katmanlı membranın mekanik dayanımı önemli ölçüde artar, ancak alt tabaka sıcaklığının çok yüksek olması membran tabakasının bozulmasına neden olur.
(4) İyon bombardımanı. İyon bombardımanı, yüksek derecede yapışkan yüzeylerin oluşumu, yüzey pürüzlülüğü, oksidasyon ve agregasyon yoğunluğu üzerinde etkilidir. Kaplamadan önce yapılan bombardıman yüzeyi temizleyebilir ve yapışmayı artırabilir; kaplamadan sonra yapılan bombardıman ise film tabakası agregasyon yoğunluğunu vb. iyileştirerek mekanik dayanımı ve sertliği artırabilir.
(5) Yüzey temizliği. Yüzey temizleme yöntemi uygun değilse veya yüzey temiz değilse, yüzeyde kalan safsızlıklar veya temizlik maddesi yeni kirliliğe neden olur; kaplamada farklı yapışma ve tutunma koşulları oluşur, bu da ilk katmanın yapısal özelliklerini ve optik kalınlığını etkiler, ayrıca film tabakasının yüzeyden kolayca ayrılmasına ve dolayısıyla film tabakasının özelliklerinin değişmesine neden olur.
Bu makale şu kuruluş tarafından yayınlanmıştır:vakum kaplama makinesi üreticisiGuangdong Zhenhua
Yayın tarihi: 04 Mayıs 2024