Мембрана катмарынын механикалык касиеттерине адгезия, чыңалуу, агрегация тыгыздыгы ж.б. таасир этет. Мембрана катмарынын материалы менен процесстик факторлордун ортосундагы байланыштан көрүнүп тургандай, эгерде биз мембрана катмарынын механикалык бекемдигин жакшыртууну кааласак, төмөнкү процесстик параметрлерге көңүл бурушубуз керек:
(1) вакуумдук деңгээл. Вакуумдун пленканын иштешине тийгизген таасири абдан айкын. Пленка катмарынын көпчүлүк көрсөткүчтөрү вакуумдук деңгээлге абдан көз каранды. Адатта, вакуумдук даража жогорулаган сайын, пленканын агрегациялык тыгыздыгы жогорулайт, катуулугу жогорулайт, пленканын түзүлүшү жакшырат, химиялык курамы таза болот, бирок ошол эле учурда стресс да жогорулайт.
(2) Чөкмө ылдамдыгы. Чөкмө ылдамдыгын жогорулатуу буулануу ылдамдыгын жакшыртуу үчүн гана эмес, буулануу булагынын температурасын жогорулатуу үчүн да колдонулушу мүмкүн, ошондой эле буулануу булагынын аянтын көбөйтүү үчүн да колдонулушу мүмкүн, бирок буулануу булагын колдонуу ыкмасынын температурасын жогорулатуунун кемчиликтери бар: мембрана катмарынын чыңалуусу өтө чоң болот; пленка пайда кылуучу газдын ажыроо оңой. Ошондуктан, кээде буулануу булагынын аянтын көбөйтүү буулануу булагынын температурасын жакшыртууга караганда жагымдуураак.
(3) Субстраттын температурасы. Субстраттын температурасын көтөрүү субстраттын бетиндеги калган газ молекулаларынын адсорбциясына өбөлгө түзөт, субстраттын жана чөкмө молекулалардын ортосундагы байланыш күчүн жогорулатат: ошол эле учурда физикалык адсорбциянын химиялык адсорбцияга айлануусуна өбөлгө түзөт, молекулалардын өз ара аракеттенүүсүн күчөтөт, ошондуктан мембрана катмарынын түзүлүшү тыгыз болот. Мисалы, магний, мембрана, субстратты 250 ~ 300 ℃ чейин ысытуу ички чыңалууну азайтып, агрегация тыгыздыгын жакшыртып, мембрана катмарынын катуулугун жогорулатат: субстратты 120 ~ 150 ℃ чейин ысытуу Zr03-Si02 көп катмарлуу мембрананы даярдайт, анын механикалык бекемдиги бир топ жогорулайт, бирок субстраттын температурасы өтө жогору болсо, мембрана катмарынын начарлашына алып келет.
(4) Иондук бомбалоо. Иондук бомбалоо жогорку тыгыздыктагы беттердин пайда болушуна, беттин тегиз эместигине, кычкылдануусуна жана агрегация тыгыздыгына таасир этет. Каптоодон мурун бомбалоо бетти тазалап, адгезияны жогорулатат; каптоодон кийинки бомбалоо пленка катмарынын агрегация тыгыздыгын ж.б. жакшыртып, механикалык бекемдикти жана катуулукту жогорулатат.
(5) Субстратты тазалоо. Субстратты тазалоо ыкмасы туура эмес же таза эмес, субстратта калдык кошулмалар же тазалоочу каражаттар пайда болуп, андан кийин жаңы булганууну пайда кылат, каптоодо ар кандай адгезия жана биригүү шарттары пайда болот, бул биринчи катмардын структуралык касиеттерине жана оптикалык калыңдыгына таасир этет, ошондой эле пленка катмарынын субстраттан оңой бөлүнүп чыгышына алып келет, ошону менен пленка катмарынын мүнөздөмөлөрү өзгөрөт.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 4-майы