Njia za Mchakato za Kuboresha Nguvu ya Kimitambo ya Tabaka la Filamu

Sifa za kiufundi za safu ya utando huathiriwa na mshikamano, mkazo, msongamano, n.k. Kutokana na uhusiano kati ya nyenzo za safu ya utando na vipengele vya mchakato, inaweza kuonekana kwamba ikiwa tunataka kuboresha nguvu ya kiufundi ya safu ya utando, tunapaswa kuzingatia vigezo vifuatavyo vya mchakato:

(1) kiwango cha utupu. Utupu kwenye utendaji wa filamu ni dhahiri sana. Viashiria vingi vya utendaji vya safu ya filamu hutegemea sana kiwango cha utupu. Kawaida, kadri kiwango cha utupu kinavyoongezeka, msongamano wa mkusanyiko wa filamu huongezeka, uimara huongezeka, muundo wa filamu huboreshwa, muundo wa kemikali unakuwa safi, lakini wakati huo huo mkazo pia huongezeka.

(2) Kiwango cha uwekaji. Kuboresha kiwango cha uwekaji sio tu kunaweza kutumika kuboresha kiwango cha uvukizi, yaani, kuongeza mbinu ya halijoto ya chanzo cha uvukizi, pia kunaweza kutumika kuongeza mbinu ya eneo la chanzo cha uvukizi kufikia, lakini matumizi ya chanzo cha uvukizi kuongeza halijoto ya mbinu yana hasara zake: kufanya mkazo wa safu ya utando kuwa mkubwa sana; gesi inayounda filamu ni rahisi kuoza. Kwa hivyo wakati mwingine huongeza eneo la chanzo cha uvukizi kuliko kuboresha halijoto ya chanzo cha uvukizi ni nzuri zaidi.

(3) halijoto ya substrate. Kuongeza halijoto ya substrate kunasaidia kufyonzwa kwenye uso wa substrate wa molekuli za gesi zilizobaki ili kuondoa, kuongeza substrate na nguvu ya kufungamana kati ya molekuli zilizowekwa: wakati huo huo kutakuza ubadilishaji wa kufyonzwa kimwili kuwa kufyonzwa kwa kemikali, kuongeza mwingiliano kati ya molekuli, ili muundo wa safu ya utando uwe mgumu. Kwa mfano, Mg, utando, kupokanzwa kwa substrate hadi 250 ~ 300 ℃ kunaweza kupunguza mkazo wa ndani, kuboresha msongamano wa mkusanyiko, kuongeza ugumu wa safu ya utando: kupokanzwa kwa substrate hadi 120 ~ 150 ℃ iliyoandaliwa Zr03-Si02, utando wa tabaka nyingi, nguvu yake ya mitambo iliongezeka sana, lakini halijoto ya substrate ni kubwa mno itasababisha kuzorota kwa safu ya utando.

(4) Ulipuaji wa ioni. Ulipuaji wa ioni una athari kwenye uundaji wa nyuso zenye mshikamano mkubwa, ukali wa uso, oksidi na msongamano. Ulipuaji kabla ya mipako unaweza kusafisha uso na kuongeza mshikamano; ulipuaji baada ya mipako unaweza kuboresha msongamano wa safu ya filamu, n.k., hivyo kuongeza nguvu na ugumu wa mitambo.

(5) Usafi wa substrate. Njia ya kusafisha substrate haifai au si safi, uchafu au kisafishaji cha mabaki kwenye substrate husababisha uchafu mpya, katika mipako ya hali tofauti za mshikamano na mshikamano, na kuathiri safu ya kwanza ya sifa za kimuundo na unene wa macho, lakini pia hufanya safu ya filamu iwe rahisi kutoka kwenye substrate, na hivyo kubadilisha sifa za safu ya filamu.

– Makala hii imetolewa namtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupuGuangdong Zhenhua