Membran təbəqəsinin mexaniki xüsusiyyətlərinə yapışma, gərginlik, aqreqasiya sıxlığı və s. təsir göstərir. Membran təbəqəsinin materialı ilə proses amilləri arasındakı əlaqədən görünür ki, membran təbəqəsinin mexaniki möhkəmliyini artırmaq istəyiriksə, aşağıdakı proses parametrlərinə diqqət yetirməliyik:
(1) vakuum səviyyəsi. Vakuumun filmin performansına təsiri çox göz qabağındadır. Film təbəqəsinin performans göstəricilərinin əksəriyyəti vakuum səviyyəsindən çox asılıdır. Adətən, vakuum dərəcəsi artdıqca, filmin aqreqasiya sıxlığı artır, möhkəmliyi artır, filmin strukturu yaxşılaşır, kimyəvi tərkibi saflaşır, eyni zamanda gərginlik də artır.
(2) Çökmə sürəti. Çökmə sürətini artırmaq təkcə buxarlanma sürətini artırmaq üçün deyil, həm də buxarlanma mənbəyinin temperaturunu artırmaq üçün istifadə edilə bilər, həm də buxarlanma mənbəyinin sahəsini artırmaq üçün istifadə edilə bilər, həm də buxarlanma mənbəyinin temperaturunu artırmaq üçün istifadə edilməsinin mənfi cəhətləri var: membran təbəqəsinin gərginliyini çox böyük edir; film əmələ gətirən qazın parçalanması asandır. Buna görə də bəzən buxarlanma mənbəyinin sahəsini artırmaq buxarlanma mənbəyinin temperaturunu artırmaqdan daha əlverişlidir.
(3) Substrat temperaturu. Substrat temperaturunun artırılması, qalan qaz molekullarının substrat səthində adsorbsiyasına kömək edir, substrat və çökmüş molekullar arasındakı bağlayıcı qüvvəni artırır: eyni zamanda fiziki adsorbsiyanın kimyəvi adsorbsiyaya çevrilməsini təşviq edəcək, molekullar arasındakı qarşılıqlı təsiri artıracaq və membran təbəqəsinin strukturu sıx olacaq. Məsələn, Mg, membran, substratı 250 ~ 300 ℃-ə qədər qızdırmaq daxili gərginliyi azalda bilər, aqreqasiya sıxlığını yaxşılaşdıra bilər və membran təbəqəsinin sərtliyini artıra bilər: substrat 120 ~ 150 ℃-ə qədər qızdırılır, çoxqatlı membran, mexaniki möhkəmliyi xeyli artır, lakin substrat temperaturu çox yüksəkdirsə, membran təbəqəsinin pisləşməsinə səbəb olacaq.
(4) İon bombardmanı. İon bombardmanı yüksək yapışqan səthlərin əmələ gəlməsinə, səth pürüzlülüyünə, oksidləşməyə və aqreqasiya sıxlığına təsir göstərir. Örtükdən əvvəl bombardman səthi təmizləyə və yapışmanı artıra bilər; örtükdən sonra bombardman film təbəqəsinin aqreqasiya sıxlığını və s. yaxşılaşdıra bilər və beləliklə, mexaniki möhkəmliyi və sərtliyi artırır.
(5) Substratın təmizlənməsi. Substratın təmizlənməsi üsulu uyğun deyil və ya təmiz deyil, substratda qalıq çirklər və ya təmizləyici maddələr olur, sonra yeni çirklənməyə səbəb olur, örtükdə müxtəlif uyğunluq şəraiti və yapışma yaranır, birinci təbəqənin struktur xüsusiyyətlərinə və optik qalınlığına təsir göstərir, eyni zamanda film təbəqəsinin substratdan asanlıqla ayrılmasına səbəb olur və beləliklə, film təbəqəsinin xüsusiyyətlərini dəyişir.
–Bu məqalə dərc olunubvakuum örtük maşını istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Yazı vaxtı: 04 may 2024