মেমব্রেন স্তরের যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্যগুলো আসঞ্জন, পীড়ন, পুঞ্জীভবন ঘনত্ব ইত্যাদি দ্বারা প্রভাবিত হয়। মেমব্রেন স্তরের উপাদান এবং প্রক্রিয়াগত উপাদানগুলোর মধ্যকার সম্পর্ক থেকে দেখা যায় যে, যদি আমরা মেমব্রেন স্তরের যান্ত্রিক শক্তি উন্নত করতে চাই, তবে আমাদের নিম্নলিখিত প্রক্রিয়াগত প্যারামিটারগুলোর উপর মনোযোগ দেওয়া উচিত:
(1) ভ্যাকুয়াম স্তর। ফিল্মের কার্যকারিতার উপর ভ্যাকুয়ামের প্রভাব খুব স্পষ্ট। ফিল্ম স্তরের বেশিরভাগ কার্যকারিতা সূচক ভ্যাকুয়াম স্তরের উপর ব্যাপকভাবে নির্ভরশীল। সাধারণত, ভ্যাকুয়ামের মাত্রা বাড়ার সাথে সাথে ফিল্মের একত্রীকরণ ঘনত্ব বৃদ্ধি পায়, দৃঢ়তা বৃদ্ধি পায়, ফিল্মের গঠন উন্নত হয়, রাসায়নিক গঠন বিশুদ্ধ হয়, কিন্তু একই সাথে চাপও বৃদ্ধি পায়।
(2) জমা হওয়ার হার। জমা হওয়ার হার উন্নত করার জন্য শুধুমাত্র বাষ্পীভবনের হার বাড়ানোই নয়, অর্থাৎ বাষ্পীভবন উৎসের তাপমাত্রা বাড়ানোর পদ্ধতি ব্যবহার করা যেতে পারে, বরং বাষ্পীভবন উৎসের ক্ষেত্রফল বাড়ানোর পদ্ধতিও ব্যবহার করা যেতে পারে, কিন্তু বাষ্পীভবন উৎসের তাপমাত্রা বাড়ানোর পদ্ধতির কিছু অসুবিধা রয়েছে: মেমব্রেন স্তরের উপর চাপ খুব বেশি হয়ে যায়; ফিল্ম-গঠনকারী গ্যাস সহজে ভেঙে যায়। তাই কখনও কখনও বাষ্পীভবন উৎসের তাপমাত্রা বাড়ানোর চেয়ে বাষ্পীভবন উৎসের ক্ষেত্রফল বাড়ানো বেশি সুবিধাজনক।
(3) সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রা। সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রা বৃদ্ধি করলে তা সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে অবশিষ্ট গ্যাস অণুগুলিকে শোষণ করতে এবং জমা হওয়া অণুগুলির মধ্যে বন্ধন শক্তি বাড়াতে সাহায্য করে: একই সাথে এটি ভৌত শোষণকে রাসায়নিক শোষণে রূপান্তরকে উৎসাহিত করে, অণুগুলির মধ্যে মিথস্ক্রিয়া বাড়ায়, যার ফলে মেমব্রেন স্তরের কাঠামো দৃঢ় হয়। উদাহরণস্বরূপ, Mg মেমব্রেনের ক্ষেত্রে, সাবস্ট্রেটকে 250 ~ 300 ℃ পর্যন্ত উত্তপ্ত করলে অভ্যন্তরীণ চাপ কমে, একত্রীকরণ ঘনত্ব উন্নত হয় এবং মেমব্রেন স্তরের কাঠিন্য বৃদ্ধি পায়: 120 ~ 150 ℃ পর্যন্ত সাবস্ট্রেট উত্তপ্ত করে Zr03-Si02 মাল্টিলেয়ার মেমব্রেন তৈরি করলে এর যান্ত্রিক শক্তি অনেক বৃদ্ধি পায়, কিন্তু সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রা খুব বেশি হলে মেমব্রেন স্তরের অবনতি ঘটবে।
(4) আয়ন বোমাবর্ষণ। আয়ন বোমাবর্ষণ উচ্চ সংহত পৃষ্ঠতল গঠন, পৃষ্ঠের অমসৃণতা, জারণ এবং একত্রীকরণ ঘনত্বের উপর প্রভাব ফেলে। লেপ দেওয়ার আগে বোমাবর্ষণ পৃষ্ঠকে পরিষ্কার করতে এবং আনুগত্য বাড়াতে পারে; লেপ দেওয়ার পরে বোমাবর্ষণ ফিল্ম স্তরের একত্রীকরণ ঘনত্ব ইত্যাদি উন্নত করতে পারে, যার ফলে যান্ত্রিক শক্তি এবং কঠোরতা বৃদ্ধি পায়।
(5) সাবস্ট্রেট পরিষ্কার করা। সাবস্ট্রেট পরিষ্কার করার পদ্ধতি উপযুক্ত না হলে বা পরিষ্কার না হলে, সাবস্ট্রেটে অবশিষ্ট অশুদ্ধি বা পরিষ্কারক পদার্থ থেকে যায়, যা নতুন দূষণ সৃষ্টি করে। এটি আবরণের বিভিন্ন সংহতি অবস্থা এবং আনুগত্যের উপর প্রভাব ফেলে, প্রথম স্তরের কাঠামোগত বৈশিষ্ট্য এবং অপটিক্যাল পুরুত্বকে প্রভাবিত করে, এবং ফিল্ম স্তরকে সাবস্ট্রেট থেকে সহজে উঠে আসতে বাধ্য করে, যার ফলে ফিল্ম স্তরের বৈশিষ্ট্য পরিবর্তিত হয়।
–এই নিবন্ধটি প্রকাশ করেছেভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্ট করার সময়: ০৪-মে-২০২৪