ఫిల్మ్ పొర యొక్క యాంత్రిక బలాన్ని మెరుగుపరిచే పద్ధతులు

పొర యొక్క యాంత్రిక లక్షణాలు సంసంజనం, ఒత్తిడి, సమూహ సాంద్రత మొదలైన వాటి ద్వారా ప్రభావితమవుతాయి. పొర పదార్థం మరియు ప్రక్రియ కారకాల మధ్య ఉన్న సంబంధం నుండి, మనం పొర యొక్క యాంత్రిక బలాన్ని మెరుగుపరచాలనుకుంటే, ఈ క్రింది ప్రక్రియ పారామితులపై దృష్టి పెట్టాలని చూడవచ్చు:

(1) వాక్యూమ్ స్థాయి. ఫిల్మ్ పనితీరుపై వాక్యూమ్ ప్రభావం చాలా స్పష్టంగా ఉంటుంది. ఫిల్మ్ పొర యొక్క చాలా పనితీరు సూచికలు వాక్యూమ్ స్థాయిపై ఎక్కువగా ఆధారపడి ఉంటాయి. సాధారణంగా, వాక్యూమ్ స్థాయి పెరిగేకొద్దీ, ఫిల్మ్ సముదాయ సాంద్రత పెరుగుతుంది, దృఢత్వం పెరుగుతుంది, ఫిల్మ్ నిర్మాణం మెరుగుపడుతుంది, రసాయన కూర్పు స్వచ్ఛంగా మారుతుంది, కానీ అదే సమయంలో ఒత్తిడి కూడా పెరుగుతుంది.

(2) నిక్షేపణ రేటు. నిక్షేపణ రేటును మెరుగుపరచడానికి బాష్పీభవన రేటును మెరుగుపరచడమే కాకుండా, అంటే బాష్పీభవన మూలం ఉష్ణోగ్రతను పెంచే పద్ధతిని, లేదా బాష్పీభవన మూలం వైశాల్యాన్ని పెంచే పద్ధతిని కూడా ఉపయోగించవచ్చు, కానీ బాష్పీభవన మూలం ఉష్ణోగ్రతను పెంచే పద్ధతిలో కొన్ని లోపాలు ఉన్నాయి: అవి పొరపై ఒత్తిడిని చాలా ఎక్కువగా చేస్తాయి; ఫిల్మ్-ఏర్పరచే వాయువు సులభంగా విచ్ఛిన్నమవుతుంది. కాబట్టి కొన్నిసార్లు బాష్పీభవన మూలం ఉష్ణోగ్రతను పెంచడం కంటే బాష్పీభవన మూలం వైశాల్యాన్ని పెంచడం మరింత అనుకూలమైనది.

(3) సబ్‌స్ట్రేట్ ఉష్ణోగ్రత. సబ్‌స్ట్రేట్ ఉష్ణోగ్రతను పెంచడం వల్ల సబ్‌స్ట్రేట్ ఉపరితలంపై మిగిలి ఉన్న వాయు అణువులను తొలగించడానికి అధిశోషణకు అనుకూలంగా ఉంటుంది, ఇది నిక్షేపించబడిన అణువుల మధ్య సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు బంధన శక్తిని పెంచుతుంది: అదే సమయంలో భౌతిక అధిశోషణను రసాయన అధిశోషణగా మార్చడాన్ని ప్రోత్సహిస్తుంది, అణువుల మధ్య పరస్పర చర్యను మెరుగుపరుస్తుంది, తద్వారా పొర నిర్మాణం గట్టిగా ఉంటుంది. ఉదాహరణకు, Mg పొరను 250 ~ 300 ℃ వరకు వేడి చేయడం వల్ల అంతర్గత ఒత్తిడిని తగ్గించవచ్చు, సమూహ సాంద్రతను మెరుగుపరచవచ్చు, పొర యొక్క గట్టిదనాన్ని పెంచవచ్చు: సబ్‌స్ట్రేట్‌ను 120 ~ 150 ℃ వరకు వేడి చేయడం ద్వారా తయారు చేసిన ZrO3-SiO2 బహుళపొరల పొర యొక్క యాంత్రిక బలం చాలా పెరిగింది, కానీ సబ్‌స్ట్రేట్ ఉష్ణోగ్రత చాలా ఎక్కువగా ఉంటే పొర క్షీణతకు కారణమవుతుంది.

(4) అయాన్ బాంబార్డ్‌మెంట్. అయాన్ బాంబార్డ్‌మెంట్ అధిక సంసంజన ఉపరితలాల ఏర్పాటు, ఉపరితల గరుకుదనం, ఆక్సీకరణ మరియు సమూహ సాంద్రతపై ప్రభావం చూపుతుంది. పూతకు ముందు బాంబార్డ్‌మెంట్ ఉపరితలాన్ని శుభ్రపరచి, సంసంజనను పెంచుతుంది; పూత తర్వాత బాంబార్డ్‌మెంట్ ఫిల్మ్ పొర సమూహ సాంద్రతను మెరుగుపరుస్తుంది, మొదలైనవి, తద్వారా యాంత్రిక బలం మరియు కాఠిన్యం పెరుగుతాయి.

(5) సబ్‌స్ట్రేట్ శుభ్రపరచడం. సబ్‌స్ట్రేట్‌ను శుభ్రపరిచే పద్ధతి సరిగ్గా లేకపోయినా లేదా శుభ్రంగా లేకపోయినా, సబ్‌స్ట్రేట్‌లో మిగిలిపోయిన మలినాలు లేదా శుభ్రపరిచే ఏజెంట్ కొత్త కాలుష్యానికి కారణమవుతాయి. ఇది పూత యొక్క విభిన్న సంసంజన పరిస్థితులు మరియు అతుక్కునే గుణాన్ని ప్రభావితం చేస్తుంది, మొదటి పొర యొక్క నిర్మాణ లక్షణాలను మరియు దృశ్య మందాన్ని ప్రభావితం చేస్తుంది, అంతేకాకుండా ఫిల్మ్ పొర సబ్‌స్ట్రేట్ నుండి సులభంగా ఊడిపోయేలా చేస్తుంది, తద్వారా ఫిల్మ్ పొర యొక్క లక్షణాలు మారిపోతాయి.

–ఈ వ్యాసం విడుదల చేసిందివాక్యూమ్ కోటింగ్ మెషిన్ తయారీదారుగ్వాంగ్‌డాంగ్ జెన్‌హువా