막층의 기계적 특성은 접착력, 응력, 응집 밀도 등의 영향을 받습니다. 막층 재료와 공정 요인 간의 관계를 살펴보면, 막층의 기계적 강도를 향상시키려면 다음과 같은 공정 변수에 집중해야 함을 알 수 있습니다.
(1) 진공도. 필름 성능에 대한 진공의 영향은 매우 뚜렷하다. 필름층의 성능 지표 대부분은 진공도에 매우 의존적이다. 일반적으로 진공도가 증가함에 따라 필름 응집 밀도가 증가하고, 견고성이 증가하며, 필름 구조가 개선되고, 화학 조성이 순수해지지만 동시에 응력도 증가한다.
(2) 증착 속도. 증착 속도를 향상시키는 방법은 증발 속도를 향상시키는 것, 즉 증발원 온도를 높이는 것뿐만 아니라 증발원 면적을 늘리는 방법으로도 달성할 수 있지만, 증발원 온도를 높이는 방법에는 다음과 같은 단점이 있습니다. 막층의 응력이 너무 커지고, 필름 형성 가스가 쉽게 분해됩니다. 따라서 때로는 증발원 온도를 높이는 것보다 증발원 면적을 늘리는 것이 더 유리할 수 있습니다.
(3) 기판 온도. 기판 온도를 높이면 기판 표면에 남아 있는 기체 분자의 흡착을 억제하고, 증착된 분자와 기판 사이의 결합력을 증가시키는 데 도움이 됩니다. 동시에 물리적 흡착이 화학적 흡착으로 전환되는 것을 촉진하고 분자 간 상호작용을 강화하여 막층 구조가 더욱 치밀해집니다. 예를 들어, Mg 막의 경우, 기판을 250~300℃로 가열하면 내부 응력을 감소시키고 응집 밀도를 향상시키며 막층의 경도를 높일 수 있습니다. Zr03-Si02 다층막을 제조할 때는 기판을 120~150℃로 가열하면 기계적 강도가 크게 증가하지만, 기판 온도가 너무 높으면 막층이 열화됩니다.
(4) 이온 충격. 이온 충격은 고점착성 표면 형성, 표면 거칠기, 산화 및 응집 밀도에 영향을 미칩니다. 코팅 전 충격은 표면을 깨끗하게 하고 접착력을 증가시킬 수 있으며, 코팅 후 충격은 필름층 응집 밀도 등을 향상시켜 기계적 강도와 경도를 증가시킬 수 있습니다.
(5) 기판 세척. 기판 세척 방법이 적절하지 않거나 깨끗하지 않으면 기판에 잔류 불순물이나 세척제가 남아 있어 새로운 오염을 유발하고 코팅의 응집 조건과 접착력이 달라져 첫 번째 층의 구조적 특성과 광학적 두께에 영향을 미칠 뿐만 아니라 필름층이 기판에서 쉽게 떨어져 나가 필름층의 특성이 변하게 됩니다.
이 기사는 다음에서 발표했습니다.진공 코팅기 제조업체광둥진화
게시 시간: 2024년 5월 4일