Мембрана қабатының механикалық қасиеттеріне адгезия, кернеу, агрегация тығыздығы және т.б. әсер етеді. Мембрана қабатының материалы мен технологиялық факторлар арасындағы байланыстан, егер біз мембрана қабатының механикалық беріктігін жақсартқымыз келсе, келесі технологиялық параметрлерге назар аударуымыз керек екенін көруге болады:
(1) вакуум деңгейі. Вакуумның пленканың өнімділігіне әсері өте айқын. Пленка қабатының өнімділік көрсеткіштерінің көпшілігі вакуум деңгейіне өте тәуелді. Әдетте, вакуум дәрежесі артқан сайын пленканың агрегация тығыздығы артады, қаттылығы артады, пленка құрылымы жақсарады, химиялық құрамы таза болады, бірақ сонымен бірге кернеу де артады.
(2) Тұндыру жылдамдығы. Тұндыру жылдамдығын арттыру булану жылдамдығын жақсарту үшін ғана емес, булану көзінің температурасын арттыру үшін де қолданылуы мүмкін, сонымен қатар булану көзінің ауданын арттыру үшін де қолдануға болады, сонымен қатар булану көзінің температурасын арттыру үшін булану көзінің кемшіліктері бар: мембрана қабатындағы кернеу тым үлкен болады; қабық түзетін газды ыдырату оңай. Сондықтан кейде булану көзінің ауданын арттыру булану көзінің температурасын жақсартудан гөрі тиімдірек.
(3) субстрат температурасы. Субстрат температурасын көтеру субстрат бетіндегі қалған газ молекулаларының адсорбциясына ықпал етеді, субстрат пен тұндырылған молекулалар арасындағы байланыстырушы күшті арттырады: сонымен бірге физикалық адсорбцияның химиялық адсорбцияға айналуына ықпал етеді, молекулалар арасындағы өзара әрекеттесуді күшейтеді, осылайша мембрана қабатының құрылымы тығыз болады. Мысалы, Mg, мембрана, субстратты 250 ~ 300 ℃ дейін қыздыру ішкі кернеуді азайтып, агрегация тығыздығын жақсартып, мембрана қабатының қаттылығын арттырады: субстратты 120 ~ 150 ℃ дейін қыздыру Zr03-Si02 көп қабатты мембранасын дайындайды, оның механикалық беріктігі айтарлықтай артады, бірақ субстрат температурасы тым жоғары болса, мембрана қабатының тозуына әкеледі.
(4) Иондық бомбалау. Иондық бомбалау жоғары үйлесімді беттердің пайда болуына, беттің кедір-бұдырлығына, тотығуына және агрегация тығыздығына әсер етеді. Жабу алдындағы бомбалау бетті тазартып, адгезияны арттыра алады; жабын жағудан кейінгі бомбалау пленка қабатының агрегация тығыздығын және т.б. жақсарта алады, осылайша механикалық беріктік пен қаттылықты арттырады.
(5) Негізді тазалау. Негізді тазалау әдісі сәйкес келмесе немесе таза болмаса, негізге қалдық қоспалар немесе тазартқыш заттар қосылып, жаңа ластану пайда болады, жабынға әртүрлі адгезия жағдайлары мен адгезиялар пайда болады, бұл бірінші қабаттың құрылымдық қасиеттері мен оптикалық қалыңдығына әсер етеді, сонымен қатар пленка қабатының негізді оңай ажыратылуына әкеледі, осылайша пленка қабатының сипаттамалары өзгереді.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 4 мамыр