Sipat mékanis lapisan mémbran kapangaruhan ku adhesi, setrés, kapadetan agregasi, jsb. Tina hubungan antara bahan lapisan mémbran sareng faktor prosés, tiasa katingali yén upami urang hoyong ningkatkeun kakuatan mékanis lapisan mémbran, urang kedah fokus kana parameter prosés ieu:
(1) tingkat vakum. Vakum kana kinerja pilem téh atra pisan. Kaseueuran indikator kinerja lapisan pilem gumantung pisan kana tingkat vakum. Biasana, nalika tingkat vakum ningkat, kapadetan agregasi pilem ningkat, kateguhan ningkat, struktur pilem ningkat, komposisi kimia janten murni, tapi dina waktos anu sami setrés ogé ningkat.
(2) Laju déposisi. Ningkatkeun laju déposisi teu ngan ukur tiasa dianggo pikeun ningkatkeun laju penguapan, nyaéta, ningkatkeun pendekatan suhu sumber penguapan, ogé tiasa dianggo pikeun ningkatkeun pendekatan daérah sumber penguapan pikeun ngahontal, tapi panggunaan sumber penguapan pikeun ningkatkeun suhu pendekatan éta ngagaduhan kakuranganna: ngajantenkeun setrés lapisan mémbran ageung teuing; gas anu ngabentuk pilem gampang diuraikeun. Janten sakapeung ningkatkeun daérah sumber penguapan tibatan ningkatkeun suhu sumber penguapan langkung nguntungkeun.
(3) suhu substrat. Ningkatkeun suhu substrat kondusif pikeun adsorpsi dina permukaan substrat tina molekul gas anu sésana pikeun ngaluarkeun, ningkatkeun substrat sareng gaya beungkeutan antara molekul anu disimpen: dina waktos anu sami bakal ngamajukeun konvérsi adsorpsi fisik kana adsorpsi kimia, ningkatkeun interaksi antara molekul, supados struktur lapisan mémbran pageuh. Salaku conto, Mg, mémbran, pemanasan substrat ka 250 ~ 300 ℃ tiasa ngirangan setrés internal, ningkatkeun kapadetan agrégasi, ningkatkeun karasa lapisan mémbran: pemanasan substrat ka 120 ~ 150 ℃ disiapkeun Zr03-Si02, mémbran multilayer, kakuatan mékanisna ningkat pisan, tapi suhu substrat anu luhur teuing bakal nyababkeun lapisan mémbran ruksak.
(4) Pangeboman ion. Pangeboman ion mangaruhan kana formasi permukaan anu kohesif pisan, karasana permukaan, oksidasi sareng kapadetan agregasi. Pangeboman sateuacan palapis tiasa ngabersihkeun permukaan sareng ningkatkeun adhesi; pangeboman saatos palapis tiasa ningkatkeun kapadetan agregasi lapisan pilem, jsb., sahingga ningkatkeun kakuatan mékanis sareng karasana.
(5) Pabersihan substrat. Métode pabersihan substrat anu teu merenah atanapi teu bersih, sésa pangotor atanapi agén pabersih dina substrat, teras nyababkeun polusi énggal, kaayaan kohesi sareng adhesi dina lapisan anu béda, mangaruhan sipat struktural sareng ketebalan optik lapisan kahiji, tapi ogé ngajantenkeun lapisan pilem gampang dicabut tina substrat, sahingga ngarobih karakteristik lapisan pilem.
–Tulisan ieu dipedalkeun kuprodusén mesin palapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktos posting: Méi-04-2024