Sifat mekanikal lapisan membran dipengaruhi oleh lekatan, tekanan, ketumpatan pengagregatan, dan sebagainya. Daripada hubungan antara bahan lapisan membran dan faktor proses, dapat dilihat bahawa jika kita ingin meningkatkan kekuatan mekanikal lapisan membran, kita harus fokus pada parameter proses berikut:
(1) tahap vakum. Vakum terhadap prestasi filem adalah sangat jelas. Kebanyakan petunjuk prestasi lapisan filem sangat bergantung pada tahap vakum. Biasanya, apabila tahap vakum meningkat, ketumpatan pengagregatan filem meningkat, ketegasan meningkat, struktur filem bertambah baik, komposisi kimia menjadi tulen, tetapi pada masa yang sama tekanan juga meningkat.
(2) Kadar pemendapan. Meningkatkan kadar pemendapan bukan sahaja boleh digunakan untuk meningkatkan kadar penyejatan, iaitu meningkatkan pendekatan suhu sumber penyejatan, juga boleh digunakan untuk mencapai pendekatan kawasan sumber penyejatan, tetapi penggunaan sumber penyejatan untuk meningkatkan suhu pendekatan mempunyai kelemahannya: menjadikan tekanan lapisan membran terlalu besar; gas pembentuk filem mudah terurai. Jadi kadangkala meningkatkan kawasan sumber penyejatan daripada meningkatkan suhu sumber penyejatan adalah lebih baik.
(3) suhu substrat. Meningkatkan suhu substrat adalah kondusif untuk penjerapan pada permukaan substrat bagi molekul gas yang tinggal untuk mengecualikan, meningkatkan daya ikatan substrat antara molekul yang termendap: pada masa yang sama akan menggalakkan penukaran penjerapan fizikal kepada penjerapan kimia, meningkatkan interaksi antara molekul, supaya struktur lapisan membran adalah ketat. Contohnya, pemanasan substrat Mg, membran, kepada 250 ~ 300 ℃ boleh mengurangkan tekanan dalaman, meningkatkan ketumpatan pengagregatan, meningkatkan kekerasan lapisan membran: pemanasan substrat kepada 120 ~ 150 ℃ yang disediakan untuk membran berbilang lapisan Zr03-Si02, kekuatan mekanikalnya meningkat banyak, tetapi suhu substrat yang terlalu tinggi akan menyebabkan kemerosotan lapisan membran.
(4) Pengeboman ion. Pengeboman ion mempunyai kesan ke atas pembentukan permukaan yang sangat kohesif, kekasaran permukaan, pengoksidaan dan ketumpatan pengagregatan. Pengeboman sebelum salutan boleh membersihkan permukaan dan meningkatkan lekatan; pengeboman selepas salutan boleh meningkatkan ketumpatan pengagregatan lapisan filem, dan sebagainya, sekali gus meningkatkan kekuatan dan kekerasan mekanikal.
(5) Pembersihan substrat. Kaedah pembersihan substrat yang tidak sesuai atau tidak bersih, sisa kekotoran atau agen pembersih dalam substrat, kemudian menyebabkan pencemaran baharu, keadaan kohesi dan lekatan yang berbeza dalam lapisan, yang menjejaskan sifat struktur dan ketebalan optik lapisan pertama, tetapi juga menjadikan lapisan filem mudah tertanggal dari substrat, sekali gus mengubah ciri-ciri lapisan filem.
–Artikel ini dikeluarkan olehpengeluar mesin salutan vakumGuangdong Zhenhua
Masa siaran: 04-Mei-2024