1) Il-miri ċilindriċi għandhom rata ta' utilizzazzjoni ogħla mill-miri planari. Fil-proċess tal-kisi, kemm jekk ikun mira ċilindrika tat-tip manjetiku li jdur jew tat-tip tubu li jdur, il-partijiet kollha tal-wiċċ tat-tubu fil-mira jgħaddu kontinwament miż-żona tal-isputtering iġġenerata quddiem il-kalamita permanenti biex jirċievu l-isputtering tal-katodu, u l-mira tista' tiġi mnaqqxa b'mod uniformi bl-isputtering, u r-rata ta' utilizzazzjoni tal-mira hija għolja. Ir-rata ta' utilizzazzjoni tal-materjali fil-mira hija ta' madwar 80% ~ 90%.
2) Miri ċilindriċi mhux se jipproduċu "avvelenament fil-mira" faċilment. Matul il-proċess tal-kisi, il-wiċċ tat-tubu fil-mira dejjem jiġi mbexxa u mnaqqax minn joni, u mhux faċli li jakkumulaw ossidi ħoxnin u films iżolanti oħra fuq il-wiċċ, u mhux faċli li tipproduċi "avvelenament fil-mira".
3) L-istruttura tal-mira ċilindrika tat-tip ta' tubu fil-mira li jdur hija sempliċi u faċli biex tiġi installata.
4) Il-materjal tat-tubu fil-mira ċilindriku għandu diversi tipi. Mira planari b'mira tal-metall li tkessaħ direttament bl-ilma, u xi wħud ma jistgħux jiġu pproċessati u ffurmati miri ċilindriċi, bħal mira In2-SnO2, eċċ. b'materjal tat-trab għall-ippressar iżostatiku sħun biex jinkisbu miri simili għal pjanċa, minħabba li d-daqs ma jistax isir kbir, u fraġli, għalhekk huwa meħtieġ li jintuża metodu ta' brazing u backplate tar-ram biex tintegra u mbagħad tinstalla fuq il-bażi tal-mira. Minbarra l-pajpijiet tal-metall, miri kolonnari jistgħu wkoll jiġu sprejjati fuq il-wiċċ ta' pajpijiet tal-istainless steel b'diversi materjali li jeħtieġ li jiġu miksija, bħal Si, Cr, eċċ.
Fil-preżent, il-proporzjon ta' miri ċilindriċi għall-kisi fil-produzzjoni industrijali qed jiżdied. Il-miri ċilindriċi mhux biss jintużaw għall-magna tal-kisi vertikali iżda wkoll jintużaw fil-magna tal-kisi roll-to-roll. Fi snin reċenti, il-miri twin planari ġew gradwalment sostitwiti bil-miri twin ċilindriċi.
——Dan l-artiklu ġie ppubblikat minn Guangdong Zhenhua Technology, kumpanijamanifattur ta' magni tal-kisi ottiku.
Ħin tal-posta: 11 ta' Mejju 2023