1) Sasaran silinder mempunyai kadar penggunaan yang lebih tinggi daripada sasaran satah. Dalam proses salutan, sama ada jenis magnet berputar atau sasaran sputtering silinder jenis tiub berputar, semua bahagian permukaan tiub sasaran secara berterusan melalui kawasan sputtering yang dijana di hadapan magnet kekal untuk menerima sputtering katod, dan sasaran boleh terpercik secara seragam terukir, dan kadar penggunaan sasaran adalah tinggi. Kadar penggunaan bahan sasaran adalah kira-kira 80%~90%.
2) Sasaran berbentuk silinder tidak akan mudah untuk menghasilkan "keracunan sasaran". Semasa proses salutan, permukaan tiub sasaran sentiasa terpercik dan terukir oleh ion, dan tidak mudah untuk mengumpul oksida tebal dan filem penebat lain di permukaan, dan tidak mudah untuk menghasilkan "keracunan sasaran".
3) Struktur sasaran sputtering silinder jenis tiub sasaran berputar adalah mudah dan mudah dipasang.
4) Bahan tiub sasaran berbentuk silinder mempunyai pelbagai jenis. sasaran planar dengan penyejukan air langsung sasaran logam, dan ada yang tidak boleh diproses dan membentuk sasaran silinder, seperti sasaran In2-SnO2, dan lain-lain dengan bahan serbuk untuk menekan isostatik panas untuk mendapatkan sasaran seperti plat, kerana saiznya tidak boleh dibuat besar, dan rapuh, jadi perlu menggunakan kaedah brazing dan plat belakang tembaga untuk mengintegrasikan dan kemudian memasang pada asas sasaran. Selain paip logam, sasaran kolumnar juga boleh disembur pada permukaan paip keluli tahan karat dengan pelbagai bahan yang perlu disalut, seperti Si, Cr, dll.
Pada masa ini, bahagian sasaran silinder untuk salutan dalam pengeluaran perindustrian semakin meningkat. Sasaran silinder bukan sahaja digunakan untuk mesin salutan menegak tetapi juga digunakan dalam mesin salutan roll to roll. Dalam beberapa tahun kebelakangan ini, sasaran kembar satah digantikan secara beransur-ansur oleh sasaran kembar Silinder.
——Artikel ini dikeluarkan oleh Guangdong Zhenhua Technology, apengeluar mesin salutan optik.
Masa siaran: 11 Mei 2023