१) दंडगोलाकार लक्ष्यांचा वापर दर प्लॅनर लक्ष्यांपेक्षा जास्त असतो. कोटिंग प्रक्रियेत, ते रोटरी मॅग्नेटिक प्रकार असो किंवा रोटरी ट्यूब प्रकार दंडगोलाकार स्पटरिंग लक्ष्य असो, लक्ष्य ट्यूबच्या पृष्ठभागाचे सर्व भाग कॅथोड स्पटरिंग प्राप्त करण्यासाठी कायमस्वरूपी चुंबकासमोर निर्माण होणाऱ्या स्पटरिंग क्षेत्रातून सतत जातात, आणि लक्ष्य एकसारखेपणे स्पटर केले जाऊ शकते, आणि लक्ष्य वापर दर जास्त आहे. लक्ष्य सामग्रीचा वापर दर सुमारे 80%~90% आहे.
२) दंडगोलाकार लक्ष्यांमुळे "लक्ष्य विषबाधा" निर्माण करणे सोपे होणार नाही. कोटिंग प्रक्रियेदरम्यान, लक्ष्य नळीचा पृष्ठभाग नेहमी आयनांनी थुंकलेला आणि कोरलेला असतो, आणि पृष्ठभागावर जाड ऑक्साईड आणि इतर इन्सुलेट फिल्म जमा करणे सोपे नसते आणि "लक्ष्य विषबाधा" निर्माण करणे सोपे नसते.
३) रोटरी टार्गेट ट्यूब प्रकारच्या दंडगोलाकार स्पटरिंग टार्गेटची रचना सोपी आणि स्थापित करणे सोपे आहे.
४) दंडगोलाकार लक्ष्य ट्यूब मटेरियलमध्ये विविध प्रकार असतात. मेटल टार्गेट डायरेक्ट वॉटर कूलिंगसह प्लॅनर टार्गेट, आणि काहींवर प्रक्रिया करता येत नाही आणि दंडगोलाकार टार्गेट तयार करता येत नाहीत, जसे की In2-SnO2 टार्गेट, इ. प्लेटसारखे लक्ष्य मिळविण्यासाठी गरम आयसोस्टॅटिक दाबण्यासाठी पावडर मटेरियलसह, कारण आकार मोठा आणि ठिसूळ बनवता येत नाही, म्हणून ब्रेझिंग पद्धत आणि कॉपर बॅकप्लेट वापरणे आवश्यक आहे जेणेकरून ते एकत्रित केले जाऊ शकते आणि नंतर लक्ष्य बेसवर स्थापित केले जाऊ शकते. मेटल पाईप्स व्यतिरिक्त, स्टेनलेस स्टील पाईप्सच्या पृष्ठभागावर स्तंभीय लक्ष्य देखील फवारले जाऊ शकतात ज्यांना लेपित करणे आवश्यक आहे, जसे की Si, Cr, इ.
सध्या, औद्योगिक उत्पादनात कोटिंगसाठी दंडगोलाकार लक्ष्यांचे प्रमाण वाढत आहे. दंडगोलाकार लक्ष्ये केवळ उभ्या कोटिंग मशीनसाठीच वापरत नाहीत तर रोल टू रोल कोटिंग मशीनमध्ये देखील वापरली जातात. अलिकडच्या वर्षांत, प्लॅनर ट्विन लक्ष्ये हळूहळू दंडगोलाकार ट्विन लक्ष्यांनी बदलली जात आहेत.
——हा लेख ग्वांगडोंग झेनहुआ टेक्नॉलॉजीने प्रकाशित केला आहे, एऑप्टिकल कोटिंग मशीनचे निर्माता.
पोस्ट वेळ: मे-११-२०२३