(4) Зорилтот материал. Зорилтот материал нь ерөнхийдөө зорилтот материал нь шаардлагад нийцэж байгаа тохиолдолд бүрэх бүрхүүлийн гол түлхүүр бөгөөд хальсны давхаргыг авахын тулд процессын параметрүүдийг хатуу хянах шаардлагатай. Зорилтот материал дахь хольц, гадаргуугийн исэл болон бусад бохир бодисууд нь хальсыг бохирдуулах чухал эх үүсвэр болдог тул өндөр цэвэршилттэй давхарга авахын тулд өндөр цэвэршилттэй зорилтот материалыг ашиглахаас гадна шүрших бүрт зорилтот гадаргууг цэвэрлэх, ислийн давхаргын зорилтот гадаргууг арилгахын тулд урьдчилан шүрших ажлыг хийх ёстой.
(5) Арын вакуум. Арын вакуумын түвшин нь систем дэх үлдэгдэл хийн хэмжээг шууд харуулдаг бөгөөд үлдэгдэл хий нь мөн хальсны давхаргыг бохирдуулах чухал эх үүсвэр болдог тул дэвсгэр вакуумыг аль болох сайжруулах хэрэгтэй. Өөр нэг асуудал бол газрын тосны диффузын насосыг газрын тос руу буцаан бохирдуулах явдал бөгөөд үүний үр дүнд мембран дахь нүүрстөрөгчийн допинг үүсдэг тул мембраны илүү хатуу шаардлага нь зохих арга хэмжээ авах эсвэл тосгүй өндөр вакуум шахах системийг ашиглах явдал юм.
(6) цацрах агаарын даралт. Ажлын агаарын даралт нь мембраны хуримтлалын хурдад шууд нөлөөлдөг.
Үүнээс гадна цахилгаан орон, агаар мандал, зорилтот материал, субстратын температур, мембран хоорондын харилцан үйлчлэлийн параметрүүдийн геометрийн бүтэц дэх янз бүрийн шүршигч төхөөрөмжүүдийн улмаас шаардлагыг бий болгохын тулд процессын параметрүүд дээр туршилт хийх шаардлагатай байдаг бөгөөд үүнээс процессын хамгийн сайн нөхцлийг бүрдүүлдэг.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2024 оны 1-р сарын 05-ны хооронд