സിലിണ്ടർ ലക്ഷ്യങ്ങളുടെ പ്രയോജനങ്ങൾ

1) സിലിണ്ടർ ടാർഗെറ്റുകൾക്ക് പ്ലാനർ ടാർഗെറ്റുകളേക്കാൾ ഉയർന്ന ഉപയോഗ നിരക്ക് ഉണ്ട്. കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ, അത് ഒരു റോട്ടറി മാഗ്നറ്റിക് തരമായാലും റോട്ടറി ട്യൂബ് തരം സിലിണ്ടർ സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റായാലും, ടാർഗെറ്റ് ട്യൂബിന്റെ ഉപരിതലത്തിന്റെ എല്ലാ ഭാഗങ്ങളും സ്ഥിരമായ കാന്തത്തിന് മുന്നിൽ സൃഷ്ടിക്കപ്പെട്ട സ്പട്ടറിംഗ് ഏരിയയിലൂടെ തുടർച്ചയായി കടന്നുപോകുകയും കാഥോഡ് സ്പട്ടറിംഗ് സ്വീകരിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു, കൂടാതെ ടാർഗെറ്റ് ഏകതാനമായി സ്പട്ടർ ചെയ്യാൻ കഴിയും, കൂടാതെ ടാർഗെറ്റ് ഉപയോഗ നിരക്ക് ഉയർന്നതാണ്. ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലുകളുടെ ഉപയോഗ നിരക്ക് ഏകദേശം 80%~90% ആണ്.

2) സിലിണ്ടർ ടാർഗെറ്റുകൾ "ടാർഗെറ്റ് വിഷബാധ" ഉണ്ടാക്കുന്നത് എളുപ്പമല്ല. പൂശുന്ന പ്രക്രിയയിൽ, ടാർഗെറ്റ് ട്യൂബിന്റെ ഉപരിതലം എല്ലായ്പ്പോഴും അയോണുകളാൽ ചിതറിക്കിടക്കുകയും കൊത്തിവയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു, കൂടാതെ ഉപരിതലത്തിൽ കട്ടിയുള്ള ഓക്സൈഡുകളും മറ്റ് ഇൻസുലേറ്റിംഗ് ഫിലിമുകളും ശേഖരിക്കുന്നത് എളുപ്പമല്ല, കൂടാതെ "ടാർഗെറ്റ് വിഷബാധ" ഉണ്ടാക്കുന്നത് എളുപ്പമല്ല.

3) റോട്ടറി ടാർഗെറ്റ് ട്യൂബ് തരം സിലിണ്ടർ സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റിന്റെ ഘടന ലളിതവും ഇൻസ്റ്റാൾ ചെയ്യാൻ എളുപ്പവുമാണ്.

4) സിലിണ്ടർ ടാർഗെറ്റ് ട്യൂബ് മെറ്റീരിയലിന് വിവിധ തരം ഉണ്ട്. മെറ്റൽ ടാർഗെറ്റ് ഡയറക്ട് വാട്ടർ കൂളിംഗ് ഉള്ള പ്ലാനർ ടാർഗെറ്റ്, ചിലത് പ്രോസസ്സ് ചെയ്ത് സിലിണ്ടർ ടാർഗെറ്റുകൾ രൂപപ്പെടുത്താൻ കഴിയില്ല, In2-SnO2 ടാർഗെറ്റ് പോലുള്ളവ, പ്ലേറ്റ് പോലുള്ള ടാർഗെറ്റുകൾ ലഭിക്കുന്നതിന് ചൂടുള്ള ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് അമർത്തലിനായി പൊടി മെറ്റീരിയൽ ഉപയോഗിച്ച്, കാരണം വലുപ്പം വലുതാക്കാൻ കഴിയില്ല, പൊട്ടുന്നതും, അതിനാൽ ബ്രേസിംഗ് രീതിയും കോപ്പർ ബാക്ക്പ്ലേറ്റും ഉപയോഗിച്ച് സംയോജിപ്പിച്ച് ടാർഗെറ്റ് ബേസിൽ ഇൻസ്റ്റാൾ ചെയ്യേണ്ടത് ആവശ്യമാണ്. മെറ്റൽ പൈപ്പുകൾക്ക് പുറമേ, Si പോലുള്ള വിവിധ വസ്തുക്കൾ ഉപയോഗിച്ച് സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകളുടെ ഉപരിതലത്തിൽ കോളം ടാർഗെറ്റുകൾ സ്പ്രേ ചെയ്യാനും കഴിയും, Cr, തുടങ്ങിയവ.

നിലവിൽ, വ്യാവസായിക ഉൽപാദനത്തിൽ പൂശുന്നതിനുള്ള സിലിണ്ടർ ലക്ഷ്യങ്ങളുടെ അനുപാതം വർദ്ധിച്ചുകൊണ്ടിരിക്കുകയാണ്. സിലിണ്ടർ ലക്ഷ്യങ്ങൾ ലംബ കോട്ടിംഗ് മെഷീനിൽ മാത്രമല്ല, റോൾ ടു റോൾ കോട്ടിംഗ് മെഷീനിലും ഉപയോഗിക്കുന്നു. സമീപ വർഷങ്ങളിൽ, പ്ലാനർ ഇരട്ട ലക്ഷ്യങ്ങൾ ക്രമേണ സിലിണ്ടർ ഇരട്ട ലക്ഷ്യങ്ങൾ ഉപയോഗിച്ച് മാറ്റിസ്ഥാപിക്കപ്പെടുന്നു.

——ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത് ഗ്വാങ്‌ഡോങ് ഷെൻ‌ഹുവ ടെക്‌നോളജി, എഒപ്റ്റിക്കൽ കോട്ടിംഗ് മെഷീനുകളുടെ നിർമ്മാതാവ്.