(4) Fitaovana kendrena. Ny fitaovana kendrena dia ny fanalahidin'ny sputtering coating, amin'ny ankapobeny, raha mahafeno ny fepetra takiana ny fitaovana kendrena, ary ny fanaraha-maso hentitra ny masontsivana dingana dia azo takiana mba hahazoana ny sosona sarimihetsika. Ny loto ao amin'ny kendrena fitaovana sy ambonin'ny oxides sy ny zavatra hafa maloto dia loharanon-dehibe ny sarimihetsika fandotoana, ka mba hahazoana ny fahadiovana ambony sosona, ankoatra ny fampiasana ny fahadiovana ambony fitaovana kendrena, isaky ny sputtering dia tokony ho ny voalohany lasibatra mialoha ny sputtering mba hanadio ny ambonin'ny lasibatra, mba hanesorana ny kendrena ambonin'ny oxide sosona.
(5) banga ambadika. Ny haavon'ny vacuum ambadika dia maneho mivantana ny habetsaky ny entona sisa ao amin'ny rafitra, ary ny entona sisa dia loharanon-danja amin'ny fandotoana ny sarimihetsika sosona, noho izany dia tokony hohatsaraina araka izay tratra ny fahabangana afara. Amin'ny fandotoana olana iray hafa dia ny paompy diffusion solika miverina amin'ny solika, ka miteraka doping karbônina ao amin'ny fonon-tsakafo, ny fepetra henjana kokoa amin'ny membrane dia tokony handray fepetra mifanaraka amin'izany na ny fampiasana ny rafitra pumping avo lenta tsy misy solika.
(6) tsindrin-drivotra mitsimoka. Ny tsindry rivotra miasa dia misy fiantraikany mivantana amin'ny tahan'ny deposition ny membrane.
Ankoatra izany, noho ny sputtering fitaovana isan-karazany eo amin'ny sehatry ny herinaratra, rivotra iainana, kendrena fitaovana, substrate mari-pana sy ny rafitra geometrika ny masontsivana ny fifandraisana eo amin'ny manify mba hamokatra ny fepetra, dia ilaina ny manao fanandramana amin'ny masontsivana ny dingana, izay ny tsara indrindra fepetra dingana.
– Ity lahatsoratra ity dia navoakan'nyVacuum coating mpanamboatra milinaGuangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: Jan-05-2024