(4) Mērķa materiāls. Mērķa materiāls ir galvenais izsmidzināšanas pārklājuma elements, ja vien mērķa materiāls atbilst prasībām, un plēves slāņa iegūšanai var būt nepieciešama stingra procesa parametru kontrole. Mērķa materiāla piemaisījumi, virsmas oksīdi un citas netīras vielas ir svarīgs plēves piesārņojuma avots, tāpēc, lai iegūtu augstas tīrības pakāpes slāni, papildus augstas tīrības pakāpes mērķa materiāla izmantošanai katrā izsmidzināšanas reizē pirmajam mērķim jāveic iepriekšēja izsmidzināšana, lai notīrītu mērķa virsmu un noņemtu oksīda slāni no mērķa virsmas.
(5) Fona vakuums. Fona vakuuma līmenis tieši atspoguļo atlikušās gāzes daudzumu sistēmā, un atlikušā gāze ir arī svarīgs plēves slāņa piesārņojuma avots, tāpēc fona vakuums ir pēc iespējas jāuzlabo. Cita problēma ir eļļas difūzijas sūkņa atgriešanās pie eļļas, kā rezultātā membrānā rodas oglekļa dopings. Jo stingrākas ir membrānas prasības, jo jāveic atbilstoši pasākumi vai jāizmanto bezeļļas augstspiediena sūknēšanas sistēma.
(6) izsmidzināšanas gaisa spiediens. Darba gaisa spiediens tieši ietekmē membrānas nogulsnēšanās ātrumu.
Turklāt, ņemot vērā atšķirīgo izsmidzināšanas ierīču elektriskā lauka, atmosfēras, mērķa materiāla, substrāta temperatūras un membrānas mijiedarbības parametru ģeometriskās struktūras prasības, lai radītu prasības, ir jāveic eksperimenti ar procesa parametriem, no kuriem iegūst vislabākos procesa apstākļus.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2024. gada 5. janvāris