1) Cilindriskiem mērķiem ir augstāks izmantošanas līmenis nekā plakaniem mērķiem. Pārklāšanas procesā neatkarīgi no tā, vai tas ir rotējoša magnētiska tipa vai rotējošas caurules tipa cilindrisks izsmidzināšanas mērķis, visas mērķa caurules virsmas daļas nepārtraukti iziet cauri izsmidzināšanas zonai, kas izveidota pastāvīgā magnēta priekšā, lai saņemtu katoda izsmidzināšanu, un mērķi var vienmērīgi izsmidzināšanas, iegravēšanas un mērķa izmantošanas līmenis ir augsts. Mērķa materiālu izmantošanas līmenis ir aptuveni 80% ~ 90%.
2) Cilindriskus mērķus nebūs viegli “saindēt”. Pārklāšanas procesā mērķa caurules virsma vienmēr ir izsmidzināta un kodināta ar joniem, un uz virsmas nav viegli uzkrāties biezas oksīdu un citas izolācijas plēves, un nav viegli radīt “saindēšanos ar mērķi”.
3) Rotējošā mērķa caurules tipa cilindriskā izsmidzināšanas mērķa struktūra ir vienkārša un viegli uzstādāma.
4) Cilindrisko mērķa cauruļu materiāliem ir dažādi veidi. Plakani mērķi ar metāla mērķi, kas tiek tieši dzesēts ar ūdeni, un daži nevar tikt apstrādāti un veidoti ar cilindriskiem mērķiem, piemēram, In2-SnO2 mērķi u.c., ar pulverveida materiālu, lai iegūtu plākšņveida mērķus karstās izostatiskās presēšanas ceļā, jo izmērus nevar izgatavot lielus un tie ir trausli, tāpēc ir jāizmanto lodēšanas metode un vara pamatplāksne, lai tos integrētu un pēc tam uzstādītu uz mērķa pamatnes. Papildus metāla caurulēm, kolonnu mērķus var arī uzsmidzināt uz nerūsējošā tērauda cauruļu virsmas ar dažādiem pārklājamiem materiāliem, piemēram, Si, Cr u.c.
Pašlaik rūpnieciskajā ražošanā cilindrisku mērķu īpatsvars pārklāšanai pieaug. Cilindriskos mērķus izmanto ne tikai vertikālajās pārklāšanas mašīnās, bet arī ruļļu pārklāšanas mašīnās. Pēdējos gados plakanos dvīņu mērķus pakāpeniski aizstāj cilindriskie dvīņu mērķi.
—— Šo rakstu publicēja Guangdong Zhenhua Technology, aoptisko pārklājumu mašīnu ražotājs.
Publicēšanas laiks: 2023. gada 11. maijs