Sveiki atvykę į Guangdong Zhenhua Technology Co., Ltd.
viena_bannerė

Cilindrinių taikinių privalumai

Straipsnio šaltinis: Zhenhua dulkių siurblys
Skaitykite: 10
Paskelbta: 2011-05-23

1) Cilindriniai taikiniai pasižymi didesniu panaudojimo koeficientu nei plokštuminiai taikiniai. Dengimo procese, nesvarbu, ar tai rotacinis magnetinis, ar rotacinio vamzdelio tipo cilindrinis purškimo taikinys, visos taikinio vamzdžio paviršiaus dalys nuolat praeina per purškimo plotą, susidarantį priešais nuolatinį magnetą, kad gautų katodinį purškimą, todėl taikinys gali būti tolygiai purškiamas, ėsdinamas ir taikinio panaudojimo koeficientas yra didelis. Taikinio medžiagų panaudojimo koeficientas yra apie 80–90 %.

 16836148539139113

2) Cilindrinius taikinius sunku „užteršti taikiniu“. Dengimo proceso metu taikinio vamzdelio paviršius nuolat yra purškiamas ir ėsdinamas jonų, todėl ant paviršiaus sunku kauptis storoms oksidų ir kitoms izoliacinėms plėvelėms, todėl sunku „užteršti taikinį“.

 

3) Rotacinio taikinio vamzdžio tipo cilindrinio purškimo taikinio konstrukcija yra paprasta ir lengvai montuojama.

 

4) Cilindrinių taikinių vamzdžių medžiagos būna įvairių tipų. Plokštuminiai taikiniai su metaliniais taikiniais, tiesiogiai aušinami vandeniu, o kai kurie negali būti apdirbami ir formuojami cilindriniai taikiniai, pvz., In2-SnO2 taikiniai ir kt., su miltelių pavidalo medžiaga, skirta karštam izostatiniam presavimui, kad būtų gauti plokščių pavidalo taikiniai, nes jų dydis negali būti didelis ir jie trapūs, todėl reikia naudoti litavimo metodą ir varinę galinę plokštę, kad būtų galima integruoti ir sumontuoti ant taikinio pagrindo. Be metalinių vamzdžių, stulpelinius taikinius taip pat galima purkšti ant nerūdijančio plieno vamzdžių paviršiaus įvairiomis medžiagomis, kurias reikia padengti, pvz., Si, Cr ir kt.

 

Šiuo metu cilindrinių taikinių, skirtų dengimui pramoninėje gamyboje, dalis didėja. Cilindriniai taikiniai naudojami ne tik vertikaliose dengimo mašinose, bet ir ritininio dengimo mašinose. Pastaraisiais metais plokštuminius dvigubus taikinius palaipsniui keičia cilindriniai dvigubi taikiniai.

—— Šį straipsnį išleido „Guangdong Zhenhua Technology“,optinių dengimo mašinų gamintojas.


Įrašo laikas: 2023 m. gegužės 11 d.