1) Zylindresch Ziler hunn eng méi héich Auslastungsquote wéi planar Ziler. Am Beschichtungsprozess, egal ob et sech ëm e rotéierend Magnéit- oder e rotéierend Rouer-Zylindrescht Sputterzil handelt, passéieren all Deeler vun der Uewerfläch vum Zilrouer kontinuéierlech duerch de Sputterberäich, deen virum Permanentmagnet generéiert gëtt, fir d'Kathodesputterung ze kréien, an d'Zil kann gläichméisseg gesputtert an geätzt ginn, an d'Zilauslastungsquote ass héich. D'Auslastungsquote vun den Zilmaterialien ass ongeféier 80%~90%.
2) Zylindresch Ziler verursaachen net einfach "Zilvergëftung". Wärend dem Beschichtungsprozess gëtt d'Uewerfläch vum Zilröhr ëmmer duerch Ionen gesputtert an geätzt, an et ass net einfach, sech déck Oxiden an aner isoléierend Schichten op der Uewerfläch ze sammelen, an et ass net einfach, "Zilvergëftung" ze verursaachen.
3) D'Struktur vum zylindresche Sputterzil vum Rotatiounszilröhrchentyp ass einfach an einfach ze installéieren.
4) D'Material vun engem zylindresche Zilröhrchen gëtt et a verschiddenen Zorten. Planar Ziler mat Metallzil direkt mat Waasserkillung, an e puer kënnen net veraarbecht a geformt ginn, wéi In2-SnO2 Ziler, etc. mat Pulvermaterial fir waarm isostatesch Pressen fir plackenähnlech Ziler ze kréien, well d'Gréisst net grouss gemaach ka ginn a brécheg ass, dofir ass et néideg d'Lötmethod an d'Kupfer-Réckplack ze benotzen fir se z'integréieren an dann op der Zilbasis z'installéieren. Zousätzlech zu Metallroueren kënnen och säulenförmeg Ziler op d'Uewerfläch vun Edelstahlroueren mat verschiddene Materialien, déi beschichtet musse ginn, wéi Si, Cr, etc., gesprëtzt ginn.
Aktuell klëmmt den Undeel vun zylindreschen Ziler fir d'Beschichtung an der Industrieproduktioun. Zylindresch Ziler ginn net nëmme fir vertikal Beschichtungsmaschinnen, mä och a Roll-to-Roll Beschichtungsmaschinnen benotzt. An de leschte Jore goufen déi planar Duebelziler lues a lues duerch zylindresch Duebelziler ersat.
——Dësen Artikel gouf vu Guangdong Zhenhua Technology publizéiert, engerHiersteller vun optesche Beschichtungsmaschinnen.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 11. Mee 2023