(4) Materia destinata. Materia destinata est clavis ad pulverisationem catodicam deducendi; plerumque, dummodo materia destinata requisitis satisfaciat, et stricta moderatio parametrorum processus requiri potest ad stratum pelliculae obtinendum. Impuritates in materia destinata et oxida superficialia aliaeque substantiae impurae fons contaminationis pelliculae magni momenti sunt, ergo ad stratum purissimum obtinendum, praeter usum materiae destinatae purissimae, in unaquaque pulverisatione primum scopum ad prae-pulverisationem adhiberi debet, ut superficies scopi purgetur et stratum oxidi superficiei scopi removeatur.
(5) Vacuum secundarium. Gradus vacui secundarii directe quantitatem gasis residui in systemate reflectit, et gas residuum etiam fons contaminationis magni momenti est pelliculae, ergo vacuum secundarium quantum fieri potest emendandum est. Alia difficultas de pollutione est antlia diffusionis olei in oleum remittens, quae ad carbonis dopationem in membrana efficit. Ad requisita strictiora membranae, mensurae congruentes adhibendae sunt vel systema pumpandi vacui alti sine oleo adhibendum.
(6) pressio aeris per pulverisationem. Pressio aeris operantis directe ratem depositionis membranae afficit.
Praeterea, propter varia instrumenta pulverisationis in campo electrico, atmosphaera, materia scopi, temperatura substrati et structura geometrica parametrorum interactionis inter membranam ad requisita producenda, necesse est experimenta de parametris processus facere, ex quibus optimae condiciones processus derivantur.
–Hic articulus editus est abFabricator machinae ad obducendum vacuumGuangdong Zhenhua
Tempus publicationis: V Ianuarii, MMXXIV