(4) Максаттуу материал. Максаттуу материал, жалпысынан, максаттуу материал талаптарга жооп берсе, жана пленка катмарын алуу үчүн процесстин параметрлерин катуу көзөмөлгө алуу талап кылынышы мүмкүн болсо, чачыратуу жабуунун ачкычы болуп саналат. Максаттуу материалдагы аралашмалар жана беттик оксиддер жана башка таза эмес заттар пленканын булганышынын маанилүү булагы болуп саналат, ошондуктан жогорку тазалыктагы катмарды алуу үчүн, жогорку тазалыктагы максаттуу материалды колдонуудан тышкары, ар бир чачыратууда бутанын бетин тазалоо, оксид катмарынын максаттуу бетин жок кылуу үчүн алдын ала чачуу үчүн биринчи максат болушу керек.
(5) Фондук вакуум. Фондук вакуумдун деңгээли системадагы калдык газдын көлөмүн түздөн-түз чагылдырат, ошондой эле калдык газ пленка катмарынын булганышынын маанилүү булагы болуп саналат, ошондуктан фон вакуумун мүмкүн болушунча жакшыртуу керек. Дагы бир көйгөйдүн булганышы боюнча мунайдын диффузиялык насосу мунайга кайтып келет, натыйжада мембранадагы көмүртектик допинг, мембрананын катуу талаптары тиешелүү чараларды көрүү же мунайсыз жогорку вакуумдук насостук системаны колдонуу керек.
(6) чачыратуу аба басымы. жумушчу аба басымы түздөн-түз кабыкчанын түшүү ылдамдыгына таасир этет.
Мындан тышкары, электр талаасында, атмосферада, максаттуу материалда, субстраттын температурасында жана мембрананын ортосундагы өз ара аракеттенүүнүн параметрлеринин геометриялык структурасында ар кандай чачыратуу түзүлүштөрүнө байланыштуу талаптарды өндүрүү үчүн процесстин параметрлери боюнча эксперименттерди жүргүзүү зарыл, андан процесстин эң жакшы шарттары.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: 05-январь 2024-ж