(4) Materyalê hedef. Bi gelemperî, heya ku materyalê hedef şertan bicîh bîne, materyalê hedef mifteya pêçandina sputterê ye, û ji bo bidestxistina qata fîlmê dikare kontrola hişk a parametreyên pêvajoyê hewce be. Nepakiyên di materyalê hedef de û oksîdên rûyê û madeyên din ên nepak çavkaniyek girîng a qirêjiya fîlmê ne, ji ber vê yekê ji bo bidestxistina qatek paqijiya bilind, ji bilî karanîna materyalê hedefê yê paqijiya bilind, di her sputterkirinê de divê hedefa yekem ji bo pêş-sputterkirinê be da ku rûyê hedefê were paqij kirin, da ku rûyê hedefê ji qata oksîdê were rakirin.
(5) Valahiya paşxaneyê. Asta valahiya paşxaneyê rasterast mîqdara gaza mayî di pergalê de nîşan dide, û gaza mayî jî çavkaniyek girîng a qirêjbûna qata fîlmê ye, ji ber vê yekê divê valahiya paşxaneyê bi qasî ku pêkan be were baştir kirin. Li ser qirêjbûnê pirsgirêkek din jî pompa belavbûna petrolê vedigere petrolê, ku dibe sedema dopîngkirina karbonê di nav parzûnê de, divê daxwazên dijwartir ên parzûnê tedbîrên guncaw bigirin an jî pergala pompkirina valahiya bilind a bê rûn bikar bînin.
(6) zexta hewaya sputteringê. Zexta hewaya xebatê rasterast bandorê li rêjeya çêbûna parzûnê dike.
Wekî din, ji ber cîhazên sputtering ên cûda di qada elektrîkê, atmosfer, materyalê hedef, germahiya substratê û avahiya geometrîkî ya parametreyên têkiliya di navbera membranê de ji bo hilberandina hewcedariyan, pêdivî ye ku ceribandin li ser parametreyên pêvajoyê werin kirin, ku ji wan şert û mercên pêvajoyê yên çêtirîn in.
- Ev gotar ji hêlaçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêGuangdong Zhenhua
Dema weşandinê: Çile-05-2024