1) Armancên silindirî rêjeya bikaranîna wan ji armancên planar bilindtir e. Di pêvajoya pêçandinê de, çi hedefa sputterkirina silindirî ya bi cureya magnetîkî ya zivirî be, çi jî hedefa sputterkirina silindirî ya bi cureya lûleya zivirî be, hemû beşên rûyê lûleya hedefê bi berdewamî ji qada sputterkirinê ya li ber magnetîsa daîmî çêdibe derbas dibin da ku sputterkirina katodê werbigirin, û hedef dikare bi rengekî yekreng were sputterkirin û xêzkirin, û rêjeya bikaranîna hedefê bilind e. Rêjeya bikaranîna materyalên hedefê bi qasî %80~%90 e.
٢) Armancên silindirî dê ne hêsan be ku "jehrîbûna hedefê" çêbikin. Di dema pêvajoya pêçandinê de, rûyê lûleya hedefê her gav ji hêla iyonan ve tê rijandin û xêzkirin, û kombûna oksîtên stûr û fîlimên din ên îzolekirinê li ser rûyê ne hêsan e, û çêkirina "jehrîbûna hedefê" ne hêsan e.
3) Struktura hedefa sputtering a silindirî ya celebê lûleya hedefa zivirî hêsan û sazkirina wê hêsan e.
4) Materyalê lûleya hedefa silindirî ji cureyên cûrbecûr pêk tê. Hedefa planar bi hedefa metalî ya sarkirina rasterast a avê, û hin ji wan nikarin werin pêvajokirin û hedefên silindirî werin çêkirin, wek hedefa In2-SnO2, hwd. bi materyalê toz ji bo pêlkirina germ a îzostatîk da ku hedefên mîna plakeyê werin bidestxistin, ji ber ku mezinahî nikare mezin û şikestî were çêkirin, ji ber vê yekê pêdivî ye ku rêbaza brazing û plakaya pişta sifir were bikar anîn da ku were entegre kirin û dûv re li ser bingeha hedefê were saz kirin. Ji bilî lûleyên metalî, hedefên stûnî dikarin li ser rûyê lûleyên pola zengarnegir bi materyalên cûrbecûr ên ku hewce ne ku werin pêçandin, wek Si, Cr, hwd. werin rijandin.
Niha, rêjeya hedefên silindirî yên ji bo pêçandinê di hilberîna pîşesaziyê de zêde dibe. Armancên silindirî ne tenê ji bo makîneya pêçandina vertîkal têne bikar anîn, lê di heman demê de di makîneya pêçandina ji roll bi roll de jî têne bikar anîn. Di salên dawî de, hedefên cêwî yên planar hêdî hêdî bi hedefên cêwî yên silindirî têne guheztin.
——Ev gotar ji hêla Guangdong Zhenhua Technology ve hate weşandin, açêkerê makîneyên pêçandina optîkî.
Dema weşandinê: 11ê Gulana 2023an