1) 원통형 타겟은 평면형 타겟보다 활용률이 높습니다. 코팅 공정에서 회전 자기식이든 회전관형 원통형 스퍼터링 타겟이든, 타겟 관 표면의 모든 부분이 영구 자석 앞에 형성된 스퍼터링 영역을 지속적으로 통과하여 캐소드 스퍼터링을 받습니다. 따라서 타겟은 균일하게 스퍼터링 에칭될 수 있으며, 타겟 활용률이 높습니다. 타겟 재료의 활용률은 약 80%~90%입니다.
2) 원통형 타겟은 "타겟 피독"이 발생하기 어렵습니다. 코팅 공정 중 타겟 튜브 표면은 이온에 의해 항상 스퍼터링 및 에칭되기 때문에 표면에 두꺼운 산화물 및 기타 절연막이 쌓이기 어렵고 "타겟 피독"이 발생하기 어렵습니다.
3) 회전타겟 튜브형 원통형 스퍼터링 타겟은 구조가 간단하고 설치가 용이합니다.
4) 원통형 타겟 튜브 소재는 다양한 종류가 있습니다. 금속 타겟을 직접 수냉 방식으로 사용하는 평면형 타겟과, In2-SnO2 타겟처럼 가공 및 성형이 불가능한 원통형 타겟도 있습니다. 분말 소재를 사용하여 열간 등방압 성형하여 판형 타겟을 얻는 경우도 있는데, 이는 타겟 크기를 크게 할 수 없고 취성이 강하기 때문입니다. 따라서 브레이징 공법과 구리 백플레이트를 사용하여 타겟 베이스에 접합한 후 설치해야 합니다. 금속 파이프 외에도 스테인리스강 파이프 표면에 Si, Cr 등 다양한 코팅 재료를 분사하여 기둥형 타겟을 제작할 수 있습니다.
현재 산업 생산에서 코팅용 원통형 타겟의 비중이 증가하고 있습니다. 원통형 타겟은 수직 코팅기뿐만 아니라 롤투롤 코팅기에도 사용됩니다. 최근 몇 년 동안 평면 트윈 타겟은 점차 원통형 트윈 타겟으로 대체되고 있습니다.
——이 기사는 광동진화기술(Guangdong Zhenhua Technology)에서 발행한 것입니다.광학 코팅기 제조업체.
게시 시간: 2023년 5월 11일